未来の食品業界をこれひとつで解決

位置センサ内蔵の平面サーボモーター
固定子は最大850mm×850mmまで可能！分解能0.001mm、精度±0.015mm、繰返し精度最高0.001mmで、逆さ取付も可能です。
専用ドライバ【LMDX+】とつなぐことにより、複雑な平面運動が可能に。

XYテーブル
内部位置検出による閉ループ制御
摩耗なしエアベアリング
外部検出磁場なし
低発生熱による安定位置制御
逆さでの取付可