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大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ(MFC)

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得意な分野・カテゴリー

飲料・乳製品

惣菜・調理食品

製品説明・スペック紹介

【最大1500SLPM(窒素ガス)までの制御が行える、大流量マスフローです】

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
*保護等級 IP 65 取得機種有り

対象ガス:窒素/空気/酸素/水素/ヘリウム/アルゴン/二酸化炭素 など、腐食性の無いガス。
注:アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量/圧力範囲は異なりますので、お問合せください。(*保護等級 IP 65 取得機種有り )

《用途》

大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体(窒素、アルゴン、ヘリウム、その他)の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

取り扱い企業

企業名
ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
電話
03-5804-5020
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ/マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し! 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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低コスト化も実現可能!IoT時代のマスフローコントローラ

【小~大流量を1台で制御!微小~高差圧(10kPa~1.0MPa)にも対応!低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC】 Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です! 《製品の特長》 1台で何役もこなします! ●小流量から大流量まで(例えば20~1500Nl/min(N2))を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値(セットポイント)に追従し安定(0.3~0.5秒以内) ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも! 簡単導入&直ぐにご使用可能です! ●校正済みで出荷されるため、設定不要&調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要(DC24Vにて起動)で簡単導入 ビュルケルトならでは&IoT世代 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です! 《用途》 ■水素ステーション関連 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御 などなど...

解決できる課題

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MAGMAX® EGM6300C

■サニタリ仕様 一体形電磁流量計 MAGMAX® EGM6300Cは、サニタリ仕様のPFA ライニング検出部EGS6000 と高性能変換部EGC300 を組み合わせた高性能・高信頼性を実現したサニタリ仕様一体形電磁流量計です。接液部のライニング材質には、FDA(アメリカ食品医薬品局)の基準を満たすPFAを採用しており、また、EHEDG(欧州衛生工学・設計グループ)および3A(アメリカの乳業メーカー、乳機メーカーおよび国家の三者が定めた協会)の認証も取得しております。標準仕様としてISO規格のクランプ接続を採用しており、配管からの着脱が容易であり、食品、飲料、薬品などのアプリケーションに幅広くご使用頂けます。 ※「MAGMAX」は、東京計装の登録商標です。 【特長】 · 検出部ハウジングには、すべてステンレス材(SS304)を採用し、サニタリ性に優れている · 接液部のライニング材質にはFDA の基準を満たす高品質無着色PFA を採用。PFA ライニングは測定管内面の ステンレス製補強メッシュに溶着して流体からの熱応力、負圧による変形に対する耐クリープ性に優れている · 検出部内部は可動部や流れを妨げるものがなく、CIP洗浄、SIP洗浄に最適です · 標準仕様としてISO 規格のクランプ接続を採用し、配管からの着脱が容易です · 高精度 指示値の± 0.5% · ハイスピード信号処理により、高速応答を実現。バッチプロセスや脈動流に対応可能 · EHEDG、3A の認証を取得 【主な仕様】 測定対象 液体 (導電率 1μS/cm以上、ただし水の場合は最小 20μS/cm) 励磁方式 矩形波励磁 流体温度 -40 ~ +120 ℃ (スチーム洗浄は、最大140℃、30分までとします) 流体圧力 -0.098 ~ +0.98MPa 流量レンジ 最大:0 ~ 339 m³/h       最小:0 ~ 0.53 m³/h 流速レンジ 最大:0 ~ 12m/s       最小:0 ~ 0.3m/s 口径 25、40、50、65、80、100 mm プロセス接続 ISO 2852 クランプ 接液部材質 ライニング:PFA       電極:ハステロイ®C4 (オプション:SS316、チタン)       プロセスアダプタ:SS316L(ガスケット:シリコンゴム) 本体材質 検出部ハウジング:SS304      変換部ハウジング:アルミニウム合金 塗装 ポリシロキサンエポキシ樹脂塗装 測定精度 表示およびパルス出力:指示値の±0.5% (流速0.33m/s以上)                 指示値の±0.2%+流速誤差±0.001m/s (流速0.33m/s未満) 表示器 ドットマトリックスLCD(バックライト付)     最大2画面の切替で1画面に1 ~ 3行表示可能     表示内容:瞬時流量、流速、積算流量、導電率、コイル温度、 自己診断結果、設定メニューなど 出力 電流出力:DC4-20mA    パルス出力/状態出力:オープンコレクタ その他の標準機能 任意単位設定、自動ゼロ調整、正逆両方向測定、2重レンジ測定、励磁周波数切り替え、自己診断、停電補償、テスト機能、プッシュボタン設定、HART®通信 電源 AC100~230V    DC24V 保護等級 IP66/67(IEC 60529)

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AM7000/SRシリーズカタログPDF

■金属管面積流量計(サニタリー) AM7000/SR シリーズは、サニタリー仕様に適合するよう設計・製造された面積流量計です。ISO 規格のへルールクランプの接続で容易に配管への着脱が可能です。 また、接液部は全てバフ仕上げを施しています。 信頼性の高いメカニカル現場指示計、電流発信付、現場積算・パルス発信付および警報接点付に加え、通信機能を装備しており、更に用途に応じた選択が出来るようになりました。 【特長】 · すべてのニーズに対応するフルラインナップ 現場指示、電流発信、現場積算、積算パルス発信、警報発信、通信機能と流量計測に必要なすべての機種が揃いました · ISO(IDF)規格のへルール接続で配管への着脱が手軽です · 容易な洗浄で、食品・飲料・製油・醸造・ファインケミカルなどのサニタリー仕様に最適です · 指示部保護等級 IP67 · 流れ方向:下から上のストレート構造 · 計測実例:水、塩水、ジュース、その他液体食品、原料全般 【主な仕様】 測定流体 液体 接続口径 1S~4.5S(メータサイズ 15A~100A) 流量範囲 0.1~70 m³/h 流体温度 -20 ~ 150℃ 圧力 0.68 MPa max. 精度 ±1.5% F.S 材質 接液部:SUS304、SUS316、SUS316L(#320 ~ #400バフ研磨)    指示計ハウジング : アルミニウム合金 タイプ 現場指示    現場指示+電流発信    現場指示+電流発信+HART®    現場指示+電流発信+現場積算+積算パルス発信+警報発信    現場指示+警報発信 防爆 本質安全防爆 Ex ia IIC T1 ~ T6    耐圧防爆 Ex d IIC T1 ~ T6

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Type8045 インサーションタイプの電磁式流量計

【弊社が得意とするインサーションタイプの電磁式流量計! インサーションタイプにより導入、設置が極めて容易かつ製品重量も軽量です!】 容易に導入が可能な電磁式流量のご紹介です。弊社が得意とするインサーションタイプを採用することで、配管口径が大きい場合でも、配管部に専用フィッティングを取付けるだけで簡単に導入が可能!軽量な製品なため、サポート設置等も不要です。 本製品に内蔵される自動合わせこみ機能(Teach-In機能)を使うことで、インサーションタイプでありながら、約0.5%(読値)誤差を実現! ●可動部が無い流量計測原理(電磁式流量計) ●瞬時流量と積算流量のどちらも表示可能 ●実際の流量が流れなくても、相当する仮想信号の出力が可能(試運転時などにお使いいただけます) ●CIP流量計測に最適 ●Alloy C22製電極もラインナップ(海水等の腐食性の高い流体向け) ●フィッティング材質:SUS製、PVC製 ●接続タイプ:Rcネジ、ヘルール、フランジ、TSソケット、溶接タブ 《仕様》 ○流量計測範囲 : 0.3 ~ 75000 L/min          (口径により異なります。) ○電圧 : DC24V ○表示 : 液晶画面 流量4ケタ表示     (表示単位は設定可能) ○信号出力 : 4 ~ 20mA、校正パルス信号 ○シート材質 : FKM (EPDM に交換可能) ○電極材質 : ステンレス(SUS316L 相当) ○流体圧力 : 最高1.6MPa        (接続形式により異なる場合があります。) ○流体温度 : 0 ~ 110℃ (ステンレス製フィンガー) ○必要導電率 : 20 μ S/cm 以上 〇精度:Teach-In機能実施時において約0.5%(読値)

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液体用フローコントローラ 最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し! 《製品の特長》 ■大流量:~600ml/min (水換算) を1台で制御可能 ■流体仕様:アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様:~0.6MPaまで対応 ■応答速度:~500msec ■タイトシャット可能:別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要:内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応

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バッチコントローラ

【バッチ制御(定量制御)を自動化しませんか?】 ビュルケルトのバッチコントローラは、流量計とバルブだけで、特別な電気の知識がなくても、簡単に自動化できる製品です。 バッチ制御(定量制御)とは、例えば「100リットル」とバッチ量(定量)定めて、その量だけ投入するという制御方式です。 例えば、 ・セメントに「500L」の水を投入したい。 ・パンの製造量で小麦粉に「30L」の水を加えよう。 ・アルコールを10倍に希釈するために、  まずアルコールを「10L」タンクに入れ、  その後に水を「90L」タンクに入れよう。 などのご用途でお使いいただけます。 こちらは、組合せ商品となります。 ■バッチ制御機能付き流量計   - パドル式流量計(低精度・廉価)   - 容積式流量計(高精度) ■バルブ   - 空圧弁   - 樹脂性バルブ(薬液用)   - 電磁弁 組合せは多数ございますので、お客様のご用途に応じて弊社で推奨させていただきます。 まずは、お気軽にご連絡ください。 《用途》 ・食品業界 ・飲料業界 ・化学業界 ・半導体業界 ・洗浄機器 その他、多数の業界にてお使いいただいております。

解決できる課題

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