共通ツール流量計、フローメータ

大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ(MFC)

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得意な分野・カテゴリー

飲料・乳製品

惣菜・調理食品

製品説明・スペック紹介

【最大1500SLPM(窒素ガス)までの制御が行える、大流量マスフローです】

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
*保護等級 IP 65 取得機種有り

対象ガス:窒素/空気/酸素/水素/ヘリウム/アルゴン/二酸化炭素 など、腐食性の無いガス。
注:アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量/圧力範囲は異なりますので、お問合せください。(*保護等級 IP 65 取得機種有り )

《用途》

大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体(窒素、アルゴン、ヘリウム、その他)の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

取り扱い企業

企業名
ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
電話
03-5804-5020
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

【ビュルケルトのコリオリMFC(液体マスフローコントローラ)は、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《製品の特長》 ■流量測定最大25 kg/h(水) ■非常に高い精度と範囲 ■高い長期安定性、ゼロ点調整不要 ■耐性の高い媒体接触素材 ■多種多様な液体に使用可能 《仕様》 ・流量範囲  スパン 1:300  最小:10[g/min]  最大:280[g/min] ・流体:コリオリ式で測定できるもの各種     ※スラリーは不可 ・流体圧力  最大1.0[MPa] ・流体粘度  0.3〜500mPas ・許容リーク量  <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度  -10〜70℃ ・周囲環境温度  0〜50℃ ・精度  ±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性  ±0.5% F.S. ・材質 本体  :ステンレス     カバー :樹脂     シール :FKM/EPDM/FFKM 選択可 ・電源DC24V ・信号 4〜20mA、0〜5V など選択可  (EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可) 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品/飲料/製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・薬剤充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC(マスフローコントローラ)は、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 ビュルケルトのコリオリMFC(液体マスフローコントローラ)は、10~280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《仕様》 ・流量範囲  スパン 1:300  最小:10[g/min]  最大:280[g/min] ・流体:コリオリ式で測定できるもの各種     ※スラリーは不可 ・流体圧力  最大1.0[MPa] ・流体粘度  0.3〜500mPas ・許容リーク量  <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度  -10〜70℃ ・周囲環境温度  0〜50℃ ・精度  ±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性  ±0.5% F.S. ・材質 本体  :ステンレス     カバー :樹脂     シール :FKM/EPDM/FFKM 選択可 ・電源DC24V ・信号 4〜20mA、0〜5V など選択可  (EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可) 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品/飲料/製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・電解液充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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