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共通ツール│流量計、フローメータ

大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

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03-5804-5020

得意な分野・カテゴリー

飲料・乳製品

惣菜・調理食品

製品説明・スペック紹介

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】

単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級　IP 65　取得機種有り

対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。
注：アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ）

《用途》

大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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取り扱い企業

企業名
ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
電話
03-5804-5020
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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温度補正付小型カルマン渦流量計 FML-300 series

■対象流体：液体　水、純水、薬液 ■最大流量：液体　2.5～100L/min ■精度：±2～3%F.S. ・温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減 ・接液部New PFA(オーリングレス) ・コンパクト設計 ・幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから10～100L/minまで) ・IP65相当の防水性

解決できる課題

  • 品質向上
  • コスト削減
  • 省スペース
  • 制御機器更新
  • 生産効率改善
  • 見える化

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コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

【ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《製品の特長》 ■流量測定最大25 kg/h（水） ■非常に高い精度と範囲 ■高い長期安定性、ゼロ点調整不要 ■耐性の高い媒体接触素材 ■多種多様な液体に使用可能 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・薬剤充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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液体用フローコントローラ　最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《用途》 ■エレクトロニクス業界向け蒸着関連装置 ■各種工業炉・燃焼炉 ■食品/製薬産業向け充填機 など

解決できる課題

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Type8031 小型パドル式流量計

【樹脂ボディのコンパクト＆お求めやすいパドルホイール式流量計です。 腐食性流体や小流量計測に最適！】 本体材質にPOM(or ECTFE)を採用したパドルホイール式流量計です。腐食性流体や小流量計測に最適です。 ○精度 ： 約2% (FS) ○流体圧力 ： 最高1.0MPa ○流体温度 ： 0 ～ 80℃ 《仕様》 ○電圧 ： DC24V ○表示 ： 無し ○信号出力 ： パルス信号 ○シート材質 ： FKM またはEPDM ○本体材質 ： POM またはECTFE ○流体圧力 ： 最高1.0MPa ○流体温度 ： 0 ～ 80℃

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エマソン_Micro Motion コリオリ流量計・密度計

Micro Motion コリオリ流量計・密度計は、食品および飲料プロセス向けに、高精度、高信頼性の流量および密度計測を提供することで生産性向上および製品ロスの削減に寄与します。高精度で二相流計測可能なELITEシリーズ、汎用タイプのFシリーズ、およびCIP洗浄可能な直管型Tシリーズなどから最適な製品をお選びいただけます。また、流量計の診断やヒストリアン機能を搭載した最新のトランスミッタとの接続によりさらなる信頼性の向上を実現します。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 経費削減
  • 品質向上
  • コスト削減
  • 自動化
  • IoT、DXの活用
    • …

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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー（MFC）

【装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)】 大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 ビュルケルトの産業用マスフローは ●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様　→　5KPaから対応 ●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度　　　　　　→　300msec～ ●暖機運転　　　　　　→　1min さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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Type8081 超音波式流量計

【圧力損失が少なく、流体に異物が混入していても影響を受けにくい流量計です！】 超音波を利用した流量計です。流体に異物が混入していても影響を受けにくいという特徴があります。また計測レンジが非常に幅広く、圧力損失が少ないのも特徴です。 ＜計測流量範囲＞ 0.06 ～ 20[L/min] 0.1 ～ 50[L/min] 0.16 ～ 82[L/min] 0.6　～ 116[L/min] 1.0 ～ 200[L/min] 《仕様》 ○口径 ： DN15 ～ 25 ○接続 ： G ネジ、NPT ネジ ○電圧 ： DC12 ～ 36V ○表示 ： 無し ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、パルス信号 ○シート材質 ： EPDM ○内面材質 ： ブラス( 黄銅)/ PES ○流体圧力 ： 最高１.6MPa ○流体温度 ： 5 ～ 90℃

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パドル式流量計

ビュルケルトのパドル式流量計の解説です ビュルケルトのパドル式流量計は、信号出力部（トランスミッタ）と配管部（フィッテング）の組合せの製品です。 パドルとは、羽根車のことです。 配管部（フィッテング）内部にパドル（羽根車）があり、流量に応じてこのパドル（羽根車）が回転します。 この回転数を計測することで、流量を計測しているのが、パドル式流量計です。 例えば落雷などで信号出力部だけが故障したときには、信号出力部だけを交換できるため費用が抑えられる、というお客様にとってのメリットがあります。 《用途》 ・食品業界 ・飲料業界 ・化学業界 ・半導体業界 ・洗浄機器 その他、多数の業界にてお使いいただいております。

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CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

【従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！】 《製品の特長》 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行 　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ 　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能 ◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に 　応じて最適なご提案を致します。 ◆CANopen対応 ◆保護等級IP65 《用途》 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御

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インラインフローメーター HSIFM3A

・ライン流量の見える化による製品品質の安定化 加工ラインの流量を、リアルタイムで計測。情報は専用ソフトで流量トレンドグラフなどに可視化され、製品や加工ラインの安定、トラブルの早期発見、遠隔監視による省人力化に寄与します。 ・容易な設置 フローメーター本体は配管に直接取り付けることができ、設置が容易です。 ・シンプルな構造 計量槽、シャッター、ロードセルの組み合わせによるシンプルな構造で、メンテナンスも容易です。

解決できる課題

  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 見える化
  • データ一元管理

解決できる課題

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