大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）
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性能・機能
（測定精度・応答性）
大気圧プラズマ向けのマスフローコントローラ
最大1500SLPMの窒素ガス制御に対応
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁による流量制御まで対応
安定性・耐久性
（精度維持・耐環境性）
プラズマの安定に必要な気体流量制御に対応
高性能比例電磁弁により、幅広い流量、差圧制御に対応
保護等級IP65取得機種もラインナップ
対応条件
（測定流体・口径・温度圧力対応範囲）
窒素、空気、酸素、水素、ヘリウム、アルゴン、二酸化炭素などの腐食性のないガスに対応
大気圧非平衡プラズマの流体制御に対応
アンモニア仕様は特注対応
設置・接続条件
（取付規格／電源／通信出力）
大流量ガス制御ラインへの組込みに対応
装置内のガス供給制御部への設置に対応
対象ガスや使用条件に応じた流量、圧力範囲の選定に対応
交換・切替のしやすさ
（校正・交換のしやすさ）
設定流量の変更により、プラズマ処理条件に合わせたガス流量調整が可能
対象ガスに応じた仕様選定に対応
流量監視と制御を1台で行える構成により、装置構成の簡素化に貢献
保守・清掃・安全
（洗浄性・保守体制）
内蔵比例電磁弁により、別置き制御弁の削減に貢献
ガス流量の安定制御により、プラズマ処理品質の安定化に活用可能
IP65取得機種により、装置環境に応じた保護性能に対応
特徴
大気圧プラズマ向けに、最大1500SLPMの窒素ガス制御に対応するMFC
窒素、アルゴン、ヘリウムなど、プラズマ媒体ガスの流量制御に活用可能
流量の監視と制御を一体で行い、プラズマ処理の安定化を支援する製品
得意な分野・カテゴリー
飲料・乳製品
惣菜・調理食品
対象製品カテゴリー詳細
- 衛生管理
- 温度管理
- 水管理
- 消毒・除菌
- HACCP関連
- 生産機械接続
- 製造指示システム
- 品質管理システム
- 自動化システム
- クラウドシステム
製品説明・スペック紹介
【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】
単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、
流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。
＊保護等級 IP 65 取得機種有り
対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素 など、腐食性の無いガス。
注：アンモニア仕様は特注できます。
ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級 IP 65 取得機種有り ）
《用途》
大気圧非平衡プラズマの流体制御
プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。
その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。
取り扱い企業
- 企業名
- ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
- 電話
- 03-5804-5020
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
- 北海道・東北
- 北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
- 関東
- 東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
- 東海
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