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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

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03-5804-5020

性能・機能
（測定精度・応答性）

高速応答に対応するマスフローコントローラ
0.3秒で設定流量への追従に対応
ガス流量の測定、制御を一体で行い、装置内の流量制御に活用可能

安定性・耐久性
（精度維持・耐環境性）

高速応答により、流量変動への追従性向上に貢献
ガス流量の安定制御に対応
対象ガスや流量レンジに応じた仕様選定が可能

対応条件
（測定流体・口径・温度圧力対応範囲）

空気、窒素、酸素、アルゴン、二酸化炭素などのガス流量制御に対応
食品工場の窒素置換、エア制御、ガス供給管理、燃焼制御などに活用可能
製造装置、分析装置、ユーティリティ設備のガス制御に対応

設置・接続条件
（取付規格／電源／通信出力）

配管ラインや装置内のガス制御部への組込みに対応
アナログ信号、デジタル通信による制御に対応
電源、通信出力、配管条件に合わせた構成選定が可能

交換・切替のしやすさ
（校正・交換のしやすさ）

設定流量の変更により、使用条件に合わせた流量調整に対応
対象ガスや流量レンジに応じた仕様変更に対応
装置側からの設定変更や状態確認に対応

保守・清掃・安全
（洗浄性・保守体制）

ガス流量の自動制御により、手動調整作業の負担軽減に貢献
高速応答により、流量変化が発生する工程の安定運用に貢献
流量データの取得により、設備状態の把握や管理性向上に活用可能

特徴

0.3秒で追従する高速応答型マスフローコントローラ
ガス流量の変化に素早く対応し、装置制御の安定化に貢献
食品工場内のガス供給管理、窒素置換、エア制御などに活用しやすい製品

得意な分野・カテゴリー

飲料・乳製品

惣菜・調理食品

対象製品カテゴリー詳細

  • 衛生管理
  • 温度管理
  • 水管理
  • 消毒・除菌
  • HACCP関連
  • 生産機械接続
  • 製造指示システム
  • 品質管理システム
  • 自動化システム

製品説明・スペック紹介

【設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)】

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！

半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。
応答速度以外にも

ビュルケルトの産業用マスフローは
●高圧対応　→　～1.0 MPa
●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ
●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能
●暖気運転　→　1分でＯＫ
●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減

さらにIoT世代のマスフローとして
●各種通信規格に対応
EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

《製品の特長》

弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。
◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。
◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。
◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。
◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。
ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！

《用途》

■蒸着関連装置(PVD)
■レーザー
■溶射
■溶接
■溶断
■各種燃焼炉
■排ガス燃焼装置
■培養装置
■精錬工程
■熱分析装置
■精密ガラス製造
■燃料電池アプリケーション各種
など

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取り扱い企業

企業名
ビュルケルトジャパン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒112-0005 東京都文京区水道1-12-15白鳥橋三笠ビル
電話
03-5804-5020
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

製品詳細確認・カタログ無料ダウンロード可能

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ　→　1:100の高精度 ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量：気体　10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) 表示器一体型で各種機能使用可能 　瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能) コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 品質向上
  • コスト削減

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Type8045 インサーションタイプの電磁式流量計

【弊社が得意とするインサーションタイプの電磁式流量計！ インサーションタイプにより導入、設置が極めて容易かつ製品重量も軽量です！】 容易に導入が可能な電磁式流量のご紹介です。弊社が得意とするインサーションタイプを採用することで、配管口径が大きい場合でも、配管部に専用フィッティングを取付けるだけで簡単に導入が可能！軽量な製品なため、サポート設置等も不要です。 本製品に内蔵される自動合わせこみ機能（Teach-In機能）を使うことで、インサーションタイプでありながら、約0.5%（読値）誤差を実現！ ●可動部が無い流量計測原理（電磁式流量計） ●瞬時流量と積算流量のどちらも表示可能 ●実際の流量が流れなくても、相当する仮想信号の出力が可能（試運転時などにお使いいただけます） ●CIP流量計測に最適 ●Alloy C22製電極もラインナップ（海水等の腐食性の高い流体向け） ●フィッティング材質：SUS製、PVC製 ●接続タイプ：Rcネジ、ヘルール、フランジ、TSソケット、溶接タブ 《仕様》 ○流量計測範囲 ： 0.3 ～ 75000 L/min 　　　　　　　 　（口径により異なります。） ○電圧 ： DC24V ○表示 ： 液晶画面　流量４ケタ表示 　　　　（表示単位は設定可能） ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、校正パルス信号 ○シート材質 ： FKM （EPDM に交換可能） ○電極材質 ： ステンレス(SUS316L 相当） ○流体圧力 ： 最高1.6MPa 　 　　　　　（接続形式により異なる場合があります。） ○流体温度 ： 0 ～ 110℃ （ステンレス製フィンガー） ○必要導電率 ： 20 μ S/cm 以上 〇精度：Teach-In機能実施時において約0.5%（読値）

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
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大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】 単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り 対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。 注：アンモニア仕様は特注できます。 ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ） 《用途》 大気圧非平衡プラズマの流体制御 プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。 その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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MAGMAX® EGM6300C

■サニタリ仕様 一体形電磁流量計 MAGMAX® EGM6300Cは、サニタリ仕様のPFA ライニング検出部EGS6000 と高性能変換部EGC300 を組み合わせた高性能・高信頼性を実現したサニタリ仕様一体形電磁流量計です。接液部のライニング材質には、FDA(アメリカ食品医薬品局)の基準を満たすPFAを採用しており、また、EHEDG(欧州衛生工学・設計グループ)および3A(アメリカの乳業メーカー、乳機メーカーおよび国家の三者が定めた協会)の認証も取得しております。標準仕様としてISO規格のクランプ接続を採用しており、配管からの着脱が容易であり、食品、飲料、薬品などのアプリケーションに幅広くご使用頂けます。 ※「MAGMAX」は、東京計装の登録商標です。 【特長】 · 検出部ハウジングには、すべてステンレス材（SS304）を採用し、サニタリ性に優れている · 接液部のライニング材質にはFDA の基準を満たす高品質無着色PFA を採用。PFA ライニングは測定管内面の ステンレス製補強メッシュに溶着して流体からの熱応力、負圧による変形に対する耐クリープ性に優れている · 検出部内部は可動部や流れを妨げるものがなく、CIP洗浄、SIP洗浄に最適です · 標準仕様としてISO 規格のクランプ接続を採用し、配管からの着脱が容易です · 高精度 指示値の± 0.5% · ハイスピード信号処理により、高速応答を実現。バッチプロセスや脈動流に対応可能 · EHEDG、3A の認証を取得 【主な仕様】 測定対象 液体 (導電率 1μS/cm以上、ただし水の場合は最小 20μS/cm) 励磁方式 矩形波励磁 流体温度 -40 ～ ＋120 ℃ （スチーム洗浄は、最大140℃、30分までとします） 流体圧力 -0.098 ～ +0.98MPa 流量レンジ　最大：0 ～ 339 m³/h 　　　　　　最小：0 ～ 0.53 m³/h 流速レンジ　最大：0 ～ 12m/s 　　　　　　最小：0 ～ 0.3m/s 口径 25､40､50､65、80､100 mm プロセス接続 ISO 2852 クランプ 接液部材質　ライニング：PFA 　　　　　　電極：ハステロイ®C4 （オプション：SS316、チタン） 　　　　　　プロセスアダプタ：SS316L（ガスケット：シリコンゴム） 本体材質　検出部ハウジング：SS304 　　　　　変換部ハウジング：アルミニウム合金 塗装 ポリシロキサンエポキシ樹脂塗装 測定精度　表示およびパルス出力：指示値の±0.5% (流速0.33m/s以上) 　　　　　　　　　　　　　　　　指示値の±0.2%+流速誤差±0.001m/s (流速0.33m/s未満) 表示器　ドットマトリックスLCD(バックライト付) 　　　　最大2画面の切替で1画面に1 ～ 3行表示可能 　　　　表示内容：瞬時流量、流速、積算流量、導電率、コイル温度、 自己診断結果、設定メニューなど 出力　電流出力：DC4-20mA 　　　パルス出力/状態出力：オープンコレクタ その他の標準機能 任意単位設定、自動ゼロ調整、正逆両方向測定、2重レンジ測定、励磁周波数切り替え、自己診断、停電補償、テスト機能、プッシュボタン設定、HART®通信 電源　AC100～230V 　　　DC24V 保護等級 IP66/67(IEC 60529)

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バッチコントローラ

【バッチ制御（定量制御）を自動化しませんか？】 ビュルケルトのバッチコントローラは、流量計とバルブだけで、特別な電気の知識がなくても、簡単に自動化できる製品です。 バッチ制御（定量制御）とは、例えば「100リットル」とバッチ量（定量）定めて、その量だけ投入するという制御方式です。 例えば、 ・セメントに「500L」の水を投入したい。 ・パンの製造量で小麦粉に「30L」の水を加えよう。 ・アルコールを10倍に希釈するために、 　まずアルコールを「10L」タンクに入れ、 　その後に水を「90L」タンクに入れよう。 などのご用途でお使いいただけます。 こちらは、組合せ商品となります。 ■バッチ制御機能付き流量計 　　- パドル式流量計（低精度・廉価） 　　- 容積式流量計（高精度） ■バルブ 　　- 空圧弁 　　- 樹脂性バルブ（薬液用） 　　- 電磁弁 組合せは多数ございますので、お客様のご用途に応じて弊社で推奨させていただきます。 まずは、お気軽にご連絡ください。 《用途》 ・食品業界 ・飲料業界 ・化学業界 ・半導体業界 ・洗浄機器 その他、多数の業界にてお使いいただいております。

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大流量用フローメータ MODEL RK2000/RK2005/RK2006 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 　　　　　　液体　H₂O ■最大流量：気体　100～1000L/min 　　　　　　液体　10～30L/min ■精度：±5%F.S. 大流量に対応 上部ニードルバルブ仕様対応 リードスイッチによる警報機能あり。 コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

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コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・電解液充填 など

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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

【設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)】 産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●高圧対応　→　～1.0 MPa ●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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大流量用樹脂製フローメータ MODEL RK50T SERIES

■対象流体：気体　Air/N₂ 　　　　　　液体　WATER ■最大流量：気体　100～300L/min 　　　　　　液体　3～10L/min ■精度：±5%F.S. ローコスト 短納期 コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

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  • 品質向上
  • コスト削減
  • 歩留まり改善
  • 省スペース
    • …

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