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共通ツール│搬送・制御システム

ウエハロードポート

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得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

担当者からのおすすめポイント!

製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応！
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

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取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
電話
042-358-4501
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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エコノミーシリーズ　ET

特長 1. 高精度の回転精度を実現する機構。 当社製クロスローラーリングとハイポイドギアを組合わせた回転機構。 回転精度，パワーで性能を発揮します。 2. 薄型構造。 回転テーブルとモータをコンパクトに収め、クロスローラーリングとハイポイドギヤを一体化する事で、製品高さを押さえた構造です。 装置の省スペース化に貢献します。 3. 購入バリエーションが選択できます。 THK制御機器の組合せモータ付き,貴社指定モータ付き,モータ無しのいずれかを選ぶことができます。 また、各制御用途に合わせて、330°(押当て原点方式)または、360°(センサ原点方式)がオプションで選択できます。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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パン＆トレイ搬送カート　ガストロノームパン

【材質】 SUS304（18-10）ステンレス製 【価格（税別）】 価格は「サイズ展開・価格（PDF）」にて掲載しております ※価格表示がない製品につきましてはお問い合わせください

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • コスト削減
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 在庫管理

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クリーンシリーズ　CSKR

特長 1.　クリーン環境に最適な低発塵構造 シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644–1※1クラス3（FED209Dクラス1相当）※2、CSKR33/46,CGLではクリーン度ISO14644–1※1クラス4（FED209Dクラス10相当）※2を達成しました。 ※1　ISO14644–1はJIS B9920相当です。 ※2　クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 2.　高速 CSKR33/46,CGLではISO14644–1※1クラス4（FED209Dクラス10相当）※2の環境下において、最高速度2000mm/sの連続動作※3が可能です。 ※1　ISO14644–1はJIS B9920相当です。 ※2　クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 ※3　潤滑剤にTHK AFE–CAグリースを使用した場合です。 3.　長期メンテナンスフリー CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナを採用しており、CGLもボールリテーナ入りLMガイドと潤滑装置QZ（LMガイド、ボールねじに取付け可能※4）を採用することにより、長期メンテナンスフリーを実現しました。 ※4　オプション対応となります。 ※CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています。 4.　高剛性 CSKRは、U字形断面形状のアウタレールを採用し、CGLは実績のあるGL–Nのアルミベースを採用しているので、高剛性です。 5.　クリーン仕様 CSKR, CGLは、低発塵特性に優れたAFE–CAグリース（THK製）とクリーン仕様のワンタッチ管継手CSKR：KPQL（SMC(株)製）、CGL：KPQH12–03（SMC(株)製、適応チューブ外径∅12mm）を採用しています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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スライドパック

特長 スライドパックFBW-XR 形は、ボールケースを精密プレス成形して、ボールを組込んだスライダが無限直線運動する直動システムです。スライドレールと組合わせて使用することで軽量・コンパクトで軽快な直線運動が得られます。 複写機、工具キャビネット、各種電子装置のキャビネット、自動販売機、工作機械のスライドカバー、金銭登録機、カーテンウォールなどの軽負荷のスライド部に最適です。 〇専用転造軸の特長 スプラインナットには、長さが規格化された専用の転造軸が用意されています。 【耐摩耗性の向上】 冷間転造により軸の歯形を成形しているため、歯面の表面は250HV以上に加工硬化し、しかもなめらかな鏡面仕上げとなっているので耐摩耗性に優れています。ナットの組合わせによる動きも極め てスムーズです。 〇高耐食性 レール、取付けプレート、ストッパなどの部品に、オーステナイト系ステンレス材を採用し、高耐食性を実現しました。 〇低騒音 FBW2560XR, FBW3590XR, 50110XRは、スライダ部を新設計することにより、従来品と比べ5dBA低騒音化を実現しました。 (FBW3590XR, 速度60m/min時)

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
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リニアモーターシリーズ　スケールレスリニアGLM

こんなお悩みありませんか？ サイクルタイムを改善したい リニアモータを簡単に選定したい 組立工数や設計工数をトータルでコストダウンしたい スケールレスリニアGLMで最適な選択が可能です 対面＋オンラインでのお打合わせでご支援します 選定サポート CADデータご提供 最短1日でお見積り回答 手配からの納品まで最短10日 スケールレスシステムの採用により リニアモータGLMを圧倒的コストパフォーマンスでご提供します L　(スケールレス) THK独自の磁気式インクリメンタルエンコーダ リニアスケール不要でも高い位置決め精度を実現 繰り返し位置決め精度　±10µm ロングストロークと3.0m/s※1 の高速動作を両立 リニアモータアクチュエータ GLM ロングストロークと3.0m/sの高速動作を両立　リニアモータアクチュエータ GLM スライダ数:2※2 最大ストローク 2650mm※1 ※2 位置決めノック穴標準搭載 ボールリテーナ付きLMガイドSSRを搭載 高速3.0m/s、高加減速2.0G※2 アブソリュートエンコーダも選択可能 ※1 GLM20APの場合 ※2 2650mm以上のストローク、2スライダ以上のマルチスライダ対応も受注対応品にて承ります

解決できる課題

  • 経費削減
  • コスト削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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軽量シリーズ　ALK

特長 1.　コンパクト・軽量構造 同じ定格出力のモータを使用する当社アクチュエータと比較した場合、ALK30とUS8Tの比較で、断面寸法は約35％のコンパクト化を実現しました。 当社鉄ベース同等製品と比較した場合、最大49%※の軽量化を実現しました。 ※ 形番やストロークによって異なります。 2.　用途に応じた各種モータを取付け可能 リーズナブルなステッピングモータと高性能なサーボモータを用途に応じて選択可能です。 ALKは各種モータが取り付けられるよう中間フランジを用意しております。お客様の使い慣れた制御でご使用可能です。 3.　寿命計算が可能 LMガイド、ボールねじは鋼材で構成されているため、使用条件に合わせてLMガイド、ボールねじの走行寿命が算出可能です。

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  • 経費削減
  • 自動化
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エコノミーシリーズ　EG

特長 1. 軽く動き、繰返し開閉動作に強い構造。 LMガイドが滑らか動作に加え、高い剛性を実現します。 小リードスベリねじと減速機構を組合わせ、小さなモータの駆動力で高い位置決めと把持力を実現します。 2. 電源遮断時でも把持力を維持。 開閉部が位置を維持する機構のため、把持力を継続することができます。 ※手動で開閉解除できます。 3. モータ仕様、モータなしが選択できます。 モータ仕様はステッピングモータ、サーボモータ両方を用意しており、用途に合わせて選択できます。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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i4.0BS®

次世代ものづくりを支える、ものづくりプロセスの予知保全 スマートファクトリーを実現する状態可視化システム搭載ボールねじ

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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籾受けホッパー

乾燥調整時の穀物張込みホッパーです。少スペース～ゆとりのあるスペースまで、各種アイテムの中からお選びできます。 狭い作業場、張込みに苦労していませんか？ 籾受ホッパーは、作業場が狭く張込みに苦労している所や、乾燥機の位置が悪く、張り込みが大変だという農家さんのニーズにお答えして出来た商品です。 使用例としては、穀物搬送の中継位置に設置も出来ますし、さらにフレコン等の受ホッパーとしても、多目的用途での使用も出来ます。 セッティングもバネホース、ラセコンU共キャスタースタンド付の為、首振りが自在で、簡単に出来、苦労がいらない、穀物搬送機用の小ホッパーです。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 品質向上
  • 生産効率改善

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リニアモーターシリーズ　ULM

特長 1.　フルカバー構造 サイドカバーと上面のマグネット吸着方式を採用したストリップシールにより、フルカバー構造を実現しました。 2.　高速・高加減速 リニアモータは電磁力をダイレクトに直線運動へ転換で きるため、ロングストロークにおいても高速・高加減速を実現します。 3.　高精度位置決め LMガイドを採用したアクチュエータを、リニアエンコーダによりフルクローズド制御することで、高い繰り返し位置決め精度を実現します。 4.　ラインナップ ULM15、ULM20の2種類をラインナップしています。負荷荷重、必要推力によりご選択いただけます。 5.　長寿命・長期メンテナンスフリー ULM15の直動案内部には、ボールリテーナ入りLMガイドSSRを採用。ボールリテーナは、ボール同士の相互摩擦によるボールの磨耗をなくし、低騒音・好音質・長期メンテナンスフリー・長寿命で優れた高速性を実現しています。 ULM20の直動案内部には、世界標準LMガイドHSRを採用。適切な量の潤滑油供給を可能にした潤滑装置QZを標準採用したことで長期メンテナンスフリーを実現しています。 6.　ロングストローク（最大4m） ULM15/ULM20は、ボールねじ駆動では実現できないロングストロークに対応できます。 標準長さでストローク4000mmに対応しています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

解決できる課題

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