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ウエハロードポート

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得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

担当者からのおすすめポイント!

製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応!
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
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カムフォロア

特長 カムフォロアは、内部にニードルローラーが組込まれ、カム機構や直線運動のガイドローラーとして用いられる、コンパクトで剛性の高いシャフト付きベアリングです。 外輪は直接相手面と接触しながら回転運動するので、厚肉にして衝撃荷重にも耐えられるよう設計されています。 また、外輪内部には精密ケージ付きニードルローラーが組込まれているのでスキューを防止し、優れた回転性能が得られ、高速回転にも十分耐えることができます。 外輪外径は球面と円筒があり、球面外輪は、取付時の軸心の狂いを無理なく吸収し、偏荷重の緩和に役立ちます。 自動機、専用機のカム機構部をはじめ、各種搬送装置、コンベア、製本機械、マシニングセンタの工具交換装置、パレットチェンジャ、自動塗装機、自動倉庫のすべり出しフォークなどに広く使用されています。 〇グリースニップル付きカムフォロア 従来品は治具を製作して埋め栓やグリースニップルを装着する必要がありましたが、グリースニップル付きカムフォロアCF-AB形はグリースニップルが両側に取り付いているため、箱から出してすぐに使用できます。 また六角レンチを利用して、スタッドの頭部側、ねじ部側のどちら側からでも固定することができ、両方向から給脂も可能です。取付けスペースを気にせずに取付け及びメンテナンスが可能のため、作業効率が向上します。 〇スラストボール入りカムフォロア 過酷な高速カム機構などでは、わずかな取付誤差がカムフォロアのスラスト部における異常摩耗の原因となることがあります。このような場合にスラストボール入りカムフォロアCFN形を使用すると耐久性において大きな効果があります。 CFN5~12形が標準在庫品ですが、標準以外のサイズをご要望のときはTHKにお問い合わせください。 なお、CFN形はわずかな取付誤差に起因するスラスト荷重のみ受けられますが、できるだけスラスト分力が発生しないよう設計および組付けにご注意願います。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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