ウエハロードポート
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得意な分野・カテゴリー
物流ライン
パン・菓子
惣菜・調理食品
担当者からのおすすめポイント!
製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応！
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。
取り扱い企業
- 企業名
- ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
- 電話
- 042-358-4501
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
- 北海道・東北
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- 関東
- 東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
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