共通ツール搬送・制御システム

ウエハ搬送ロボット Eシリーズ

参考価格
お問い合わせください

製品・サービスに関する資料


この製品・サービスの資料DL、お問い合わせ

得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

担当者からのおすすめポイント!

高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

高性能&高剛性が特長!
2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット
自社製DDモーターを採用し、高性能&高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
海外
海外

製品詳細確認・カタログ無料ダウンロード可能

カタログダウンロード

カタログダウンロード

  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

クリーンシリーズ CSKR

特長 1. クリーン環境に最適な低発塵構造 シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644–1※1クラス3(FED209Dクラス1相当)※2、CSKR33/46,CGLではクリーン度ISO14644–1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2を達成しました。 ※1 ISO14644–1はJIS B9920相当です。 ※2 クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 2. 高速 CSKR33/46,CGLではISO14644–1※1クラス4(FED209Dクラス10相当)※2の環境下において、最高速度2000mm/sの連続動作※3が可能です。 ※1 ISO14644–1はJIS B9920相当です。 ※2 クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。 ※3 潤滑剤にTHK AFE–CAグリースを使用した場合です。 3. 長期メンテナンスフリー CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナを採用しており、CGLもボールリテーナ入りLMガイドと潤滑装置QZ(LMガイド、ボールねじに取付け可能※4)を採用することにより、長期メンテナンスフリーを実現しました。 ※4 オプション対応となります。 ※CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています。 4. 高剛性 CSKRは、U字形断面形状のアウタレールを採用し、CGLは実績のあるGL–Nのアルミベースを採用しているので、高剛性です。 5. クリーン仕様 CSKR, CGLは、低発塵特性に優れたAFE–CAグリース(THK製)とクリーン仕様のワンタッチ管継手CSKR:KPQL(SMC(株)製)、CGL:KPQH12–03(SMC(株)製、適応チューブ外径∅12mm)を採用しています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

カタログダウンロード

カタログダウンロード

  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

コンパクトシリーズ KSF

特長 1. コンパクト構造 同じ定格出力のモータを使用する当社アクチュエータと比較した場合、KSF8とUSW16Tの比較で約67%のコンパクト化、約37%の軽量化を実現しました。 ※KSF8:ストローク1500mmの場合 2. どんな姿勢でも使用可能 インナブロックに作用する4方向(ラジアル方向、逆ラジアル方向、横方向)の荷重に対して同一定格荷重となるように、各ボール列を接触角45°で配置されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。 3. モーメントに強いアウタレール構造 U字形断面形状のアウタレールの採用により、⼤きなモーメントを受けることができます。 4. 高速・高加減速 ボールねじの大リード化により、最高速度2500mm/sを実現。(※KSF10リード50の場合) また、適用モータを大きくすることで高加減速な搬送を可能にしています。(最大4G) 1往復(500mmストローク)で0.54秒のタクトタイム短縮。100往復で54秒のタクトタイム短縮となり、生産性が約40%向上。 ※形番、仕様条件により最大加減速度は異なります。 5. ロングストローク ボールねじ軸を大径化することで、コンパクトながらロングストロークを実現しました。 6. ボールねじ大径化により適用モータ定格出力アップ コンパクトなアウタレールのままでボールねじ軸を⼤径化。ボールねじ端末部も⼤きくしたことで、当社同等サイズのアクチュエータと比べ、定格出力の⼤きいモータが使用可能となりました。 7. 長寿命 LMガイド部、ボールねじ部の基本動定格荷重を上げることで最⼤可搬質量搭載時に、走行寿命20000km(KSF4, KSF5リード10mmは走行寿命10000km)の長寿命を実現しました。 8. 長期メンテナンスフリー 適切な量の潤滑油供給を可能にした潤滑装置QZを標準採用したことで長期メンテナンスフリーを実現しました。 9. 高精度 直動案内部は、すきまなく軽く動くサーキュラーアーク溝となります。従って、容易に高精度送りに追従します。 10. 発塵量の低減を実現 サイドカバーと上面のマグネット吸着方式を採用したストリップシールにより、フルカバー構造を実現。外部からの異物流入による破損を防止します。ストリップシール上面は接触がなく、発塵しにくい構造になっています。 11. 豊富なラインナップ 全5形番をそろえ、さらにメンテナンスや取付けが容易なオープンカバー、トップカバーを選択可能です。また全長がコンパクトなモータ折返し仕様、カバーを取り外さずに本体取付けができる裏タップ仕様など用途に合わせた選択が可能です。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

カタログダウンロード

カタログダウンロード

  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

ユニバーサルシリーズ GL-N

特長 ■シリーズの特長 (ボールねじタイプ) 1. LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 GL-Nはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2. ロングストロークの高速搬送に最適 GL-Nはアルミベースを採用し、ボールねじのリードバリエーションを豊富に用意しております。ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2240mm/sの高速動作が可能です。 3. 軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4. オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。 ■シリーズの特長 (ベルト駆動タイプ) 1. LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 GL-Nはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2. ロングストロークの高速搬送に最適 GL-Nはアルミベースを採用し、駆動方式にタイミングベルトを採用しており、ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2500mm/sの高速動作が可能です。 3. 軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4. オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

関連キーワード:

自動 搬送 荷物 搬送 粉 体 搬送 搬送 ローラー 機械 搬送 粉 体 搬送 エアー パレット 搬送 制御 システム 産業 制御 システム