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共通ツール│搬送・制御システム

ウエハ搬送ロボット Eシリーズ

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078-997-8827

性能・機能
（搬送制御範囲・連携機能）

適用ウエハサイズ：2〜12インチ
アームタイプ：シングル、ダブル
R/W軸速度：750mm/sec、1000mm/sec
T軸回転範囲：0〜340deg
Z軸ストローク：300mm、340mm、420mm、500mm
通信：RS232、Ethernet

安定性・耐久性
（停止トラブル低減・連続稼働性）

繰返し精度：±0.1mm
クリーン度：Class 100、オプションでClass 10、Class 1
DDモーター、リニアガイドウェイ、ボールねじ、サーボモーターなどの主要コンポーネントを自社で製造開発
ハードウェアとソフトウェアを統合したロボット構成

対応条件
（対応ライン構成・機器連携範囲）

対応用途：ウエハ搬送、ウエハ反転型搬送、サファイア基板搬送、パネル搬送、フレーム転送
対応産業：半導体産業、LED産業、FPD産業、小型パネル400×400mm以下
取付方式：上固定、下固定
エンドエフェクター：真空吸着型、把持型、反転型
フォーク：真空、把持、特注品に対応
マッピングセンサーはオプション対応

設置・接続条件
（設置寸法／電源／通信配線）

質量：45〜55kg、コントローラーなし
電圧：単相AC200〜240V
電流：5A
真空：φ6、-0.1MPa〜0.8MPa
末端流量：50L/min、末端配管φ4、入力圧力0.7MPa
中継線長さ：5m

交換・切替のしやすさ
（レイアウト変更・拡張性）

アーム長：135mm、165mm、185mmから選択可能
可搬質量：1kg、2kg、3kgから選択可能
Z軸ストローク：300mm、340mm、420mm、500mmから選択可能
フォーク、エンドエフェクター、マッピングセンサー、教示ペンダントを型式で選択可能
要望に応じたカスタマイズ対応

保守・清掃・安全
（保守体制・安全制御対応）

教示ペンダントはオプション対応
教示ペンダントにより、ロボットのピックアンドプレース動作をテスト可能
教示ペンダントは小型で持ち運びしやすく、矢印キーで操作可能
安全スイッチ付きで、誤操作によるロボットの誤作動防止に対応
マッピングセンサーにより、ウエハまたは基板の重なり、傾斜検出に対応

特徴

2〜12インチのウエハ搬送に対応するEシリーズロボット
シングルアーム、ダブルアームを選択可能
真空吸着型、把持型、反転型のエンドエフェクターに対応
ウエハ搬送、反転型搬送、サファイア基板搬送、パネル搬送、フレーム転送に対応
主要コンポーネントを自社で製造開発し、ハードウェアとソフトウェアを統合
マッピングセンサー、教示ペンダントなどのオプションにより、検出性と操作性を高められる構成

得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

対象製品カテゴリー詳細

  • 生産機械接続
  • トラッキングシステム
  • 製造指示システム
  • 品質管理システム
  • 在庫管理システム
  • 自動化システム
  • 予知保全システム
  • クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!

高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

高性能＆高剛性が特長！
2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット
自社製DDモーターを採用し、高性能＆高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

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取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

軸端末未加工品精密ボールねじ

特長 軸端末未加工品は、精密ボールねじのねじ軸を規格化し、定尺長さにして量産しているシリーズです。ねじ軸端末は追加工を容易に行うことができます。 またナット形式はシングルナットBNF形、オフセット予圧ナットBIF形、ミニチュアボールねじMDK形およびMBF形とありますので、使用目的に応じてお選びください。 〇防塵 ナットには、下記の形番にラビリンスシールが取付けてあります。 BNF/BIF全形番 MDK0802/1002/1202/1402/1404/1405形 ボールねじにごみや異物の流入が考えられる場合は必ず防塵装置(ジャバラ等)を用いてねじ軸を完全にカバーする必要があります。 〇潤滑 ナットには、納入時リチウム石けん基グリースが封入されています。 (MDK形、MBF形は防錆油のみ塗布してあります。) 〇ねじ軸端末の追加工 ねじ軸は、有効ねじ部だけ高周波焼入れ(BNF/BIF全形番/MDK1405形)、あるいは浸炭焼入れ(MBF全形番/MDK0401~1404形)で表面硬化させてありますので、ねじ軸端末の追加工を旋削、フライス加工で容易に行うことができます。 また、ねじ軸の両端にはセンタ穴が設けてありますので円筒研削も可能です。 有効ねじ部の表面硬さ ：58~64 HRC ねじ軸端部硬さ BNF/BIF全形番/MDK1405形 ：22~27 HRC MBF全形番/MDK0401~1404形 ：35 HRC以下 なお、THKではボールねじの見積りや製作を迅速に行えるようにねじ軸の軸端形状を標準化しています。 軸端形状については、標準サポートユニットをそのまま使用できるH、K、J形がありますのでボールねじ周辺機器 サポートユニットをご参照ください。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 搬送・制御システム

リニアモーターシリーズ　ULM

特長 1.　フルカバー構造 サイドカバーと上面のマグネット吸着方式を採用したストリップシールにより、フルカバー構造を実現しました。 2.　高速・高加減速 リニアモータは電磁力をダイレクトに直線運動へ転換で きるため、ロングストロークにおいても高速・高加減速を実現します。 3.　高精度位置決め LMガイドを採用したアクチュエータを、リニアエンコーダによりフルクローズド制御することで、高い繰り返し位置決め精度を実現します。 4.　ラインナップ ULM15、ULM20の2種類をラインナップしています。負荷荷重、必要推力によりご選択いただけます。 5.　長寿命・長期メンテナンスフリー ULM15の直動案内部には、ボールリテーナ入りLMガイドSSRを採用。ボールリテーナは、ボール同士の相互摩擦によるボールの磨耗をなくし、低騒音・好音質・長期メンテナンスフリー・長寿命で優れた高速性を実現しています。 ULM20の直動案内部には、世界標準LMガイドHSRを採用。適切な量の潤滑油供給を可能にした潤滑装置QZを標準採用したことで長期メンテナンスフリーを実現しています。 6.　ロングストローク（最大4m） ULM15/ULM20は、ボールねじ駆動では実現できないロングストロークに対応できます。 標準長さでストローク4000mmに対応しています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 搬送・制御システム

ユニバーサルシリーズ　TH

特長 ■シリーズの特長　（ボールねじタイプ） 1.　LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 THはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2.　ロングストロークの高速搬送に最適 THはアルミベースを採用し、ボールねじのリードバリエーションを豊富に用意しております。ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2240mm/sの高速動作が可能です。 3.　軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4.　オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。 ■シリーズの特長　（ベルト駆動タイプ） 1.　LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 THはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2.　ロングストロークの高速搬送に最適 THはアルミベースを採用し、駆動方式にタイミングベルトを採用しており、ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2500mm/sの高速動作が可能です。 3.　軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4.　オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

冷温蔵配膳車

食べる人、運ぶ人にも、空間にもやさしく。 フジマックの冷温蔵配膳車は白を基調にしたシンプルなデザインで、多様な施設の環境に広く調和します。食器を自由に配置できるフラットトレイに対応するモデルもラインナップ。 【シンプル・クリア・フラットなデザイン】 フジマックの冷温蔵配膳車はシンプルで透明感のあるクリアなデザイン。誇張しないフラットな構成は運搬性や清掃性にも優れていて、使う人にやさしさを提供します。２０１４年グッドデザイン賞を受賞しました。 ・標準タイプ、リバーシブルタイプにそれぞれ手動式・電動式の組み合わせでバリエーションが豊富。 ・パネルのカラーを９色から選べます。またそれぞれ透明度の違うクリア扉タイプ、スモーク扉タイプが選べます。 ・突起が少ないフラットなデザインは、万が一の接触や引っかかり、破損の心配が少ない安全構造です。 ・外側の扉は、175°まで開きます。外側の扉は135°、内側の扉は90°に開いた状態で維持できます。外側の扉は270°まで（オプション）開くことも可能です。 【保冷、保温、おいしい温度で届けます。】 ■特長 ・遠赤外線パネルヒータと微風ファンにより温蔵室を加熱。冷蔵室は、上部のファンにより冷却。ムラのない優れた保冷保温機能でおいしさをキープ。 ・配膳後に食器を自由に配置できるフラットトレイにも対応。見た目もおいしく、自然に食事をしていただけます。冷蔵・温蔵の各セクションスペースが同寸法のリバーシブルタイプは、トレイを差し込む方向の選択で冷食メイン、温食メインのどちらでも対応が可能。 ・牽引ハンドルは可倒式で、搬送時にはラクに操作できる角度で前方に倒れます。使用しない時は本体に収納できるので、じゃまになりません。 ・本体下部にフットブレーキを装備。車体をしっかりと床に固定し、不意な移動を防ぎます。

解決できる課題

  • 温湿度管理

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  • 搬送・制御システム

コントローラーシリーズ　THC

特長 1. 選べる機能モード TSC/TLC/THCは、ご使用の用途に合わせてステップデータ数が選べる機能となっています。機能モード0,1,2,3（ポジション64タイプ,外部入力教示タイプ,256タイプ,512タイプ）、機能モード4,5（ソレノイドモード1,2）の6つの設定から選択が可能です。 2. オートチューニング機能で簡単調整 オートチューニング機能は、動作中の発振や異音の発生や位置決め完了信号が不安定でオーバーシュートする場合に、ゲイン調整を簡単に実施できます。 3. 簡単設定・簡単ティーチング パソコンセットアップツールD-STEPもしくはデジタルオペレータTDOを使うことにより、豊富な機能を簡単に利用することが可能です。 4. 位置決め動作・押付け動作 TSC/TLC/THCは、ご使用の用途に合わせて決められたポジションに移動する位置決め制御やトルク制限により物体を押付ける動作が可能です。 5. 状態モニター、アラーム履歴の表示 パソコンセットアップツールD-STEPを使用することで、接続しているドライバコントローラの状態表示が可能です。 ・アラーム履歴表⽰最⼤50件（パワーON履歴も含む） ・I/O現在位置、位置指令、電流指令の各種モニター表示

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

コントローラーシリーズ　TLC

特長 1. 選べる機能モード TSC/TLC/THCは、ご使用の用途に合わせてステップデータ数が選べる機能となっています。機能モード0,1,2,3（ポジション64タイプ,外部入力教示タイプ,256タイプ,512タイプ）、機能モード4,5（ソレノイドモード1,2）の6つの設定から選択が可能です。 2. オートチューニング機能で簡単調整 オートチューニング機能は、動作中の発振や異音の発生や位置決め完了信号が不安定でオーバーシュートする場合に、ゲイン調整を簡単に実施できます。 3. 簡単設定・簡単ティーチング パソコンセットアップツールD-STEPもしくはデジタルオペレータTDOを使うことにより、豊富な機能を簡単に利用することが可能です。 4. 位置決め動作・押付け動作 TSC/TLC/THCは、ご使用の用途に合わせて決められたポジションに移動する位置決め制御やトルク制限により物体を押付ける動作が可能です。 5. 状態モニター、アラーム履歴の表示 パソコンセットアップツールD-STEPを使用することで、接続しているドライバコントローラの状態表示が可能です。 ・アラーム履歴表⽰最⼤50件（パワーON履歴も含む） ・I/O現在位置、位置指令、電流指令の各種モニター表示

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 搬送・制御システム

アルミクレーンシステム　eepos

『eepos』は、スムーズな動作による作業効率UP・安全性向上が可能な アルミクレーンシステムです。 操作が楽で、短期間で導入も可能。 アルミニウムレールは、用途、目的に合わせて選べるよう豊富にラインアップ。 稼働式サスペンションや電動ドライブなど、周辺部品も多数ご用意しています。 【特長】 ■スムーズな動作による作業効率UP・安全性向上 ■操作が楽 ■短期間で導入も可能 ■豊富なラインアップ ■周辺部品も多数ご用意

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • 歩留まり改善
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 物流オートメーション

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  • 搬送・制御システム

カムフォロア

特長 カムフォロアは、内部にニードルローラーが組込まれ、カム機構や直線運動のガイドローラーとして用いられる、コンパクトで剛性の高いシャフト付きベアリングです。 外輪は直接相手面と接触しながら回転運動するので、厚肉にして衝撃荷重にも耐えられるよう設計されています。 また、外輪内部には精密ケージ付きニードルローラーが組込まれているのでスキューを防止し、優れた回転性能が得られ、高速回転にも十分耐えることができます。 外輪外径は球面と円筒があり、球面外輪は、取付時の軸心の狂いを無理なく吸収し、偏荷重の緩和に役立ちます。 自動機、専用機のカム機構部をはじめ、各種搬送装置、コンベア、製本機械、マシニングセンタの工具交換装置、パレットチェンジャ、自動塗装機、自動倉庫のすべり出しフォークなどに広く使用されています。 〇グリースニップル付きカムフォロア 従来品は治具を製作して埋め栓やグリースニップルを装着する必要がありましたが、グリースニップル付きカムフォロアCF-AB形はグリースニップルが両側に取り付いているため、箱から出してすぐに使用できます。 また六角レンチを利用して、スタッドの頭部側、ねじ部側のどちら側からでも固定することができ、両方向から給脂も可能です。取付けスペースを気にせずに取付け及びメンテナンスが可能のため、作業効率が向上します。 〇スラストボール入りカムフォロア 過酷な高速カム機構などでは、わずかな取付誤差がカムフォロアのスラスト部における異常摩耗の原因となることがあります。このような場合にスラストボール入りカムフォロアCFN形を使用すると耐久性において大きな効果があります。 CFN5~12形が標準在庫品ですが、標準以外のサイズをご要望のときはTHKにお問い合わせください。 なお、CFN形はわずかな取付誤差に起因するスラスト荷重のみ受けられますが、できるだけスラスト分力が発生しないよう設計および組付けにご注意願います。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

直交ロボット DCRKシリーズ

簡単な操作と組立て、優れたコストパフォーマンス。 生産効率と市場競争力の向上に寄与します。

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

浮遊型リニア搬送システムXPlanar

可動子が磁力により浮遊して6自由度の自在な制御が行えます。完全浮上動作のためコンタミレスかつ自在な軌道上を移動することが可能です。多品種少量生産を実現できる次世代型の搬送システムです。

解決できる課題

  • 自動化
  • 省エネ対策
  • IoT、DXの活用
  • 省スペース
  • 制御機器更新
  • 生産効率改善
    • …

解決できる課題

関連キーワード：

自動 搬送 荷物 搬送 粉 体 搬送 搬送 ローラー 機械 搬送 粉 体 搬送 エアー パレット 搬送 制御 システム 産業 制御 システム