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真空対応 リニアモーター

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担当者からのおすすめポイント!

■10-8 mbarまでの高真空に対応
■カスタム磁気シールド機能
■カスタム可能な高度な洗浄及びアウトガス検査サービス

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製品説明・スペック紹介

HIWIN 真空対応リニアモーターは、真空用途の低アウトガス要件を考慮した幅広いラインアップを提供。
高真空10-8 mbarクラスまで対応します。
カスタムの磁気シールド設計により磁気干渉を防ぎ、半導体における電子ビームのアプリケーションを安定化。
ご要望に応じたカスタム対応で、より高い推力密度性能を達成します。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
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ステッピングモーター　PKPシリーズRS-485通信タイプドライバ

性能の向上 低振動・高トルク・高効率化についてご紹介します。 低振動化 フルデジタル制御のフルタイムマイクロステップ駆動によって振動レベルを大幅に改善し、全速度域で低振動化を実現しました。 全速度域で振動特性を大幅に改善 2相モーター 全速度域で振動特性を大幅に改善 5相モーターでさらに低振動化 5相モーターでさらに低振動化 概要や特性、特徴の詳細はこちら（テクニカルレポート） 高トルク化 高電流駆動ドライバと、最適巻線設計モーターの組み合わせで高トルク化を実現演しました。 PKPシリーズ モーター：巻線設計の見直しによる高トルク化 CVDシリーズ ドライバ：駆動回路の高効率化により高電流駆動が可能 2相モーター 低速域でトルクアップ 2相モーター 低速域でトルクアップ 5相モーター 全速度域でトルクアップ 5相モーター 全速度域でトルクアップ 高効率設計 CVDシリーズは、従来品に比べて出力電流を増加することで高トルク化を実現しました。出力電流を増加できるように、発熱量低減を配慮した設計になっています。 ドライバの制御と回路技術（テクニカルレポート） ドライバの特徴 業界最小クラスの高性能ドライバ 省スペース化に貢献する小型・軽量ドライバです。2相と5相のドライバは、サイズ・取付・I/Oと電源コネクタが共通です。

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  • 品質向上
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ACスピードコントロールモーター　DSCシリーズ

DSCシリーズの概要 クローズドループ制御でスピードコントロール 速度変動率±1％（参考値） ACモーターに搭載したレートジェネレータで回転速度を常に監視。 負荷が変動しても設定した速度になるように回転速度をコントロールします。 回路のデジタル化 従来のアナログ回路の大半をデジタル化してCPUに取り込み、回路部品を大幅に削減。かつてない小型化と低価格を実現しました。また、デジタル化により速度指令値と速度検出値の偏差をゼロに近づけることが可能になり、速度変動率が-5％から±1％※へと向上しました。 省スペース化と設置の手間を削減 小型 体積は一般的なインバータ比で63％も小型 小型 密着取付で省スペース化 本体幅35mm、密着取付可能で複数軸使用時もすっきり設置。 薄型の制御盤にも 奥行き90mm。薄型制御盤にも設置できます。 薄型の制御盤にも モーター・ドライバ間はコネクタ接続でワンタッチ スピードコントローラとモーターの配線はコネクタ方式で簡単に取付、取り外し可。 アラーム出力で信頼性を高める クローズドループ制御によりモーターの状態をリアルタイムでコントローラにフィードバック。過負荷によるモーターロックなど、異常時にアラーム信号を出力し、モーターへの電力供給を停止します。

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リニアヘッド LJリニアヘッド

リニアヘッドの特徴 コンパクトサイズで最大可搬質量200kgを実現 最大可搬質量200kg ピニオンの大径化に伴い、歯車強度がアップしたことで最大可搬質量200Kg※を実現 ※ 最大可搬質量はギヤヘッド減速比、および組み合わせるモーターによって異なります。 最長ストローク 700mm 100～700mmのストロークをラインアップ ラックを固定してスペースを有効活用 ラック両端を固定してモーター自体を自走させることができます。 モータースペースの確保が難しい装置に効果的です。 設計効率の向上に貢献 設計から立ち上げまでの時間を短縮 ラック・ピニオン機構を自作する場合と比べて使用している部品点数の削減、設計・組み立てにかかる工数を減らすことができます。

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ステッピングモーター(真空タイプ)

真空タイプモーターの特徴と構造 真空タイプモーターの特徴と構造 放出ガスを抑えるため、モーターケースにはアルミ、ステンレス鋼を使用し、表面は塗装していません。また、軸受けには真空用グリースを使用しています。 放出ガスは、通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空環境を汚染する心配はありません。 ベーキング処理の温度にも耐えられるように耐熱用の巻線を使用しています。 真空タイプモーターのメリット 装置を小型化し、設計の自由度を拡大 大気中にモーターを設置する場合、回転導入機などを使用するため装置が大型になります。真空タイプは、真空環境内にモーターを設置できるため装置を小型化できます。さらにαSTEP ARシリーズなら位置確認用のセンサが不要になるためコストダウンにも貢献します。 部品点数・スペース削減01 部品点数・スペース削減01 αSTEP ARシリーズなら、エンコーダ無しで位置監視が可能 αSTEP ARシリーズは、クローズドループ制御によりモーターの情報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。高額の真空対応型エンコーダは不要になります。 ローター位置検出センサ ローター位置検出センサ（レゾルバ）を搭載しモーターの情報を検出し、モーターを制御します。 真空中でさまざまな動きを実現 半導体製造装置や、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に採用されています。 真空チャンバー ステージの種類 真空タイプのモーターは、回転導入機では設計が困難な、真空環境下での多軸ステージに対応します。真空中で複数軸の組み合わせが可能となり、より複雑な動きを実現させることができます。 多軸ステージにも対応 低損失のαSTEP ARシリーズは、真空中の解析、加工用途に最適です 低真空中の物資解析、高出力レーザー加工、真空成膜など、真空環境下での位置決め用途で活躍します。

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ステンレスモーター

・本体は研磨SUS304製で鉄やアルミのようにサビの発生や塗装のはがれがありません。 ・端子台部分は本体と一体型で清掃が簡単な丸みを帯びたデザインになっています。 ・全ての接続面にOリングを使用し、水分の混入を防止しています。 ・取付ネジにはキャップナット、スペーサー、Oリングを使用しています。 ・形式表示はプレートを使用せず、ハウジングに直接刻印しています。 ・IE3(プレミアム効率)、IP66、ISO Fフランジ が標準仕様になります ・極度な条件下での特殊なエアレーターを使用することで IP69K になります。 ・PTCリレーを標準装備。 ・B5、B14Aはフランジ取付、B3は脚取付です。 ・IEC63からIEC132までの7サイズのラインアップになります。 ・IEC63、71、80は特殊なシャフトとフランジの組み合わせでSEW社製ギヤボックスに取り付けが可能です。 ・IEC80までのモデルは全閉自冷型（TENV、IC410）になります。 ・IEC90以上のモデルは全閉外扇型（TEFC、IC411）があります。 ステンレスモーター（全閉外扇型） 外扇ファン冷却で高出力に対応 容量：最大7.5kw

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リニアモーターステージ SSA XYシリーズ

高精度・短納期で優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモーター位置決めステージ。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。 ・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm

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  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
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コア付リニアモーター　LMSCシリーズ

コア付の高推力タイプ。可動子2個を固定子2個の間に挟み込んで可動子・固定子間の吸着力をキャンセルし、レールにかかる負担を大幅に軽減。ゆえに小型ながら高推力を実現します。

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5相ステッピングモーター　PKPシリーズフルクローズド制御タイプ

性能の向上 高精度 5相のPKPシリーズはステップ角度が0.72°（高分解能タイプ0.36°）・停止精度± 0.05°のため、高精度の位置決めが可能です。また、マイクロステップ駆動のドライバで制御したときの静止角度誤差はフルステップ駆動時とほぼ変わらず高精度です。 マイクロステップでも停止精度が悪化しない (5相CVDシリーズドライバ＋5相PKPシリーズモーター) 5相フルステップ停止精度 5相マイクロステップ停止精度 低振動化 5相のPKPシリーズは基本ステップ角度が0.72°（高分解能タイプ0.36°）と小さいため、基本ステップ角度1.8°の2相ステッピングモーターより低振動・低騒音です。また、マイクロステップ駆動のドライバで制御することでさらに低振動・低騒音駆動が可能です。 2相ステッピングモーターの振動特性例 2相ステッピングモーターの振動特性例 5相ステッピングモーターの振動特性例 5相ステッピングモーターの振動特性例 概要や特性、特徴の詳細はこちら 小型・薄型コネクタを採用 小型・薄型コネクタを採用したPKPシリーズは、コネクタ部の張り出しが低くなりました（一部製品は除く）。また引き出し方向が上向きになったことで、 モーターケーブルの引き出し方向の自由度がアップしました。 ドライバの特徴 高効率設計 CVDシリーズは、従来品に比べて出力電流を増加することで高トルク化を実現しました。出力電流を増加できるように、発熱量低減を配慮した設計になっています。 ドライバの制御と回路技術 業界最小クラスの高性能ドライバ CVDシリーズは、省スペース化に貢献する小型・軽量ドライバです。 ドライバサイズ 質量 ： 20 ～ 70g（ドライバの種類で異なります。）

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5相ステッピングモーター用ドライバCVDシリーズ　SCタイプ

以下のような用途におすすめです 定寸送り運転 正転入力のON、OFFで運転が可能 定寸送り運転 往復運転 正転・逆転入力のON、OFFで運転が可能 往復運転 2速切り替え運転 2速切り替え運転が可能 2速切り替え運転 なめらかな低速運転 速度範囲は0.02r/min～600r/min なめらかな低速運転 パルス発振器不要。I/Oで制御するシンプルなシステム構成 モーター、ドライバとプログラマブルコントローラだけのシンプルな構成です。ドライバのスイッチで、運転速度、加減速時間、運転電流の設定をおこない、FWD（RVS）入力をON、OFFするだけ。スピードコントロールモーター感覚で簡単速度制御が可能です。 パルス発振器不要。I/Oで制御するシンプルなシステム構成 2種類の速度を設定可能 ドライバは、2種類の速度を設定し、外部から切り替えることができます。 速度設定範囲：0.02r/min～600r/min

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モーションコントローラ

ロボット制御できる高機能タイプと，PTP（Point-to-Point）位置決めに特化した汎用タイプから選択できます。ロボット，搬送装置，半導体製造装置などのモーション制御に最適です。 コンパクト 高さ120mm×幅55mm×奥行110mm。非常にコンパクトなモーションコントローラです。 小型化により省スペース化を実現し，システムコストの低減に貢献します。 柔軟なシステム構築 ロボットや電子カムを制御できるAタイプと，PTP動作に特化したBタイプをラインアップ。 入出力信号の制御と同時に，複雑な多軸モーション制御や，ロボット制御がおこなえます。お客さまの用途に合わせて，柔軟にシステムを構築できます。 IoT※1機能搭載 各種周辺機器と接続するため，Ethernet，RS-485，USBなどのインタフェースを標準装備。 EthernetではModbus TCPが使用できます。また，上位通信用のOPC-UA※2にも準拠しており，さまざまな機器とシームレスに接続できます。 また，PCの汎用ブラウザにて，動作状態のモニタリングやプログラム変数の読み書きができるWebサーバ機能を搭載。IoT技術を活用したシステムが簡単に構築できます。 ※1 1 Internet of things： あらゆるモノをネットワークにつなげ，情報交換することにより相互に制御する仕組み。 ※2 Object Linking and Embedding for Process Control - Unified Architecture：データを相互運用するための標準規格。

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