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真空対応 リニアモーター

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担当者からのおすすめポイント!

■10-8 mbarまでの高真空に対応
■カスタム磁気シールド機能
■カスタム可能な高度な洗浄及びアウトガス検査サービス

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製品説明・スペック紹介

HIWIN 真空対応リニアモーターは、真空用途の低アウトガス要件を考慮した幅広いラインアップを提供。
高真空10-8 mbarクラスまで対応します。
カスタムの磁気シールド設計により磁気干渉を防ぎ、半導体における電子ビームのアプリケーションを安定化。
ご要望に応じたカスタム対応で、より高い推力密度性能を達成します。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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リニアモーターステージ カスタム版

リニアモーターステージ カスタム版。 すべて自社製のキーコンポーネント（リニアモーター・リニアガイドウェイ・ボールねじ・DDモータ・サーボモーターやドライバー）を用いており、高性能・コストパフォーマンスの良さでユーザの競争力を高めるお手伝いをいたします。

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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5相ステッピングモーター　真空タイプ

真空タイプモーターの特徴と構造 真空タイプモーターの特徴と構造 放出ガスを抑えるため、モーターケースにはアルミ、ステンレス鋼を使用し、表面は塗装していません。また、軸受けには真空用グリースを使用しています。 放出ガスは、通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので、真空環境を汚染する心配はありません。 ベーキング処理の温度にも耐えられるように耐熱用の巻線を使用しています。 真空タイプモーターのメリット 装置を小型化し、設計の自由度を拡大 大気中にモーターを設置する場合、回転導入機などを使用するため装置が大型になります。真空タイプは、真空環境内にモーターを設置できるため装置を小型化できます。さらにαSTEP ARシリーズなら位置確認用のセンサが不要になるためコストダウンにも貢献します。 αSTEP ARシリーズなら、エンコーダ無しで位置監視が可能 αSTEP ARシリーズは、クローズドループ制御によりモーターの情報を監視するほか、各種アラーム出力機能を搭載しています。高額の真空対応型エンコーダは不要になります。 ローター位置検出センサ ローター位置検出センサ（レゾルバ）を搭載しモーターの情報を検出し、モーターを制御します。 真空中でさまざまな動きを実現 半導体製造装置や、電子顕微鏡をはじめとする計測機器など、さまざまな用途に採用されています。

解決できる課題

  • HACCP対策
  • 品質向上
  • 自動化

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5相ステッピングモーター　PKPシリーズフルクローズド制御タイプ

性能の向上 高精度 5相のPKPシリーズはステップ角度が0.72°（高分解能タイプ0.36°）・停止精度± 0.05°のため、高精度の位置決めが可能です。また、マイクロステップ駆動のドライバで制御したときの静止角度誤差はフルステップ駆動時とほぼ変わらず高精度です。 マイクロステップでも停止精度が悪化しない (5相CVDシリーズドライバ＋5相PKPシリーズモーター) 5相フルステップ停止精度 5相マイクロステップ停止精度 低振動化 5相のPKPシリーズは基本ステップ角度が0.72°（高分解能タイプ0.36°）と小さいため、基本ステップ角度1.8°の2相ステッピングモーターより低振動・低騒音です。また、マイクロステップ駆動のドライバで制御することでさらに低振動・低騒音駆動が可能です。 2相ステッピングモーターの振動特性例 2相ステッピングモーターの振動特性例 5相ステッピングモーターの振動特性例 5相ステッピングモーターの振動特性例 概要や特性、特徴の詳細はこちら 小型・薄型コネクタを採用 小型・薄型コネクタを採用したPKPシリーズは、コネクタ部の張り出しが低くなりました（一部製品は除く）。また引き出し方向が上向きになったことで、 モーターケーブルの引き出し方向の自由度がアップしました。 ドライバの特徴 高効率設計 CVDシリーズは、従来品に比べて出力電流を増加することで高トルク化を実現しました。出力電流を増加できるように、発熱量低減を配慮した設計になっています。 ドライバの制御と回路技術 業界最小クラスの高性能ドライバ CVDシリーズは、省スペース化に貢献する小型・軽量ドライバです。 ドライバサイズ 質量 ： 20 ～ 70g（ドライバの種類で異なります。）

解決できる課題

  • HACCP対策
  • 品質向上
  • 自動化

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DDモーター　DMYシリーズ

高分解能アブソリュートレゾルバーを備えており、原点復帰が不要なDDモータ―。優れた動特性、高トルク・高精度が特長で、高精度位置決めを必要とする産業に適しています。 ■ アウターローター型 ■ 分解能92万p/revのアブソリュートレゾルバー ■ 優れた動特性、高トルク、高精度 ■ 瞬間最大トルク：12～300 Nm ■ 特殊環境にも適応

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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コア付リニアモーター　LMFAシリーズ

[1] リニアモーター [2] FAシリーズ [3] 可動子幅 0: 67mm 1: 96mm 2: 126mm 3: 141mm 4: 188mm 5: 248mm 6: 342mm [4] 可動子長さ ▼LMFA0-2シリーズ 1: 145mm 2: 250mm 3: 355mm 4: 460mm ▼LMFA3-6シリーズ 1: 214mm 2: 375mm 3: 563mm 4: 697mm [5] 巻線コード 無記号: 標準 L: 低逆起電圧

解決できる課題

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  • 省スペース
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コア付リニアモーター　LMSCシリーズ

コア付の高推力タイプ。可動子2個を固定子2個の間に挟み込んで可動子・固定子間の吸着力をキャンセルし、レールにかかる負担を大幅に軽減。ゆえに小型ながら高推力を実現します。

解決できる課題

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【低重心・重負荷タイプ】リニアモーター単軸ステージ SAシリーズ

コア付リニアモーターを採用した単軸ステージ より大きな連続推力を持ち、大きめの推力と素早いレスポンスが要求される用途に 無負荷時：最大加速度30m/s2、有負荷時：最大速度2m/s 4mまでのストロークに対応 優れた速度制御性能 低コスト、コンパクトサイズ、高性能 クリーンルーム向き カタログ・リーフレット

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DDモーター　DMNシリーズ

[1] DMNシリーズ [2] モデル [3] エンコーダー A: 19 bits(ABS) B: 20 bits(ABS) 2: 1500 ライン (INC) 4: 2500 ライン (INC) 5: 3600 ライン (INC) [4] ホールセンサー 0: ホールセンサーなし 1: デジタルホールセンサー [5] 巻線仕様 S: 標準 [6] 温度センサー N: 温度センサーなし P: PTC センサーあり [7] 保護等級 0: IP40 [8] 機能コード [9] 面振れ / 軸振れ S: 30µm/30µm (標準) P: 5µm/30µm A: 5µm/15µm [10] 精度補償 0: 精度補償なし 1: ±10 arc-sec 2: ±5 arc-sec [11] ケーブル長さ 0: ケーブルなし (光学スケール標準) 1: 0.3m (ABS スケール標準) 2: 0.5m(DMN21 INC エンコーダーのみ) [12] コネクタータイプ S: ABS スケール規格 (AMP) A: 光学スケール規格 (Intercontec M17 金属) [13] 位置決めピン S: 標準穴 (図面参照) [14] クランプ 0: クランプなし (標準) [15] 予約

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ステッピングモーター　RKⅡシリーズ

装置のトータルコストを削減 装置を小型化できます ドライバの内部部品の最適配置により、小型・薄型を実現。複数台を密着させた取り付けが可能になり、これまでと同じスペースの中で使用軸数を増やすことも可能です。 密着取付時は周囲温度0～40℃でご使用いただけます。 装置を小型化 消費電力を最大47％減 モーター材質の最適化によって損失を大幅に低減、消費電力も最大で47％削減しました。 電気料金はもちろんCO2排出量の低減にも貢献します。 ※ 高効率モーターの詳細はこちらをご覧ください。 消費電力量比較 消費電力量比較 運転条件 回転速度 1000r/min 負荷トルク 0.47N・m 使用時間 24時間運転 （運転70％、待機25％、停止5％）、365日/年 消費電力量などの比較 RK2と従来品との消費電力量などの比較 装置内の熱の影響を低減 モーターの損失を低減させたことで発熱も低減。密閉された装置内での他の機器に与える熱の影響を減らし、ファンや放熱板による発熱対策の手間やコストを削減します。 同一条件運転時のモーター外被温度比較 同一条件運転時のモーター外被温度比較 サーモグラフィーによる温度分布 サーモグラフィーによる温度分布 RKⅡシリーズと従来品との発熱量やモーター表面温度の比較デモンストレーション 装置の信頼性を高める性能・機能 高精度な位置決め RKⅡシリーズの位置決め精度は、±0.05゜（±3min）です。下図のようなボールねじと組み合わせて使用した場合、位置決め精度は、±1.4µmになります。一般的な研削ボールねじの精度は±10µmですので、それと比較しても、十分に高精度な位置決め運転が可能です。

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水冷式トルクモーター　IM-2シリーズ

TM-2シリーズに比べて非常に高い回転速度範囲で使用可能です。工作機械での加工時の熱を回避するため、水冷機能で高い連続トルクを確保し、モーターの温度上昇を低減します。過負荷の場合にモーターを保護する温度センサーが装備されています。 ■水冷式 ■大口径中空軸 ■弱め界磁で最高回転速度は5450min-1

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