ナノ精密位置決めステージ【N2】
- 参考価格
- お問い合わせください
製品・サービスに関する資料
PDFダウンロード
性能・効果
（測定精度・測定範囲）
製品名：N2 ナノ精度位置決めステージ
ストローク：X軸450mm、Y軸320mm、Z軸17mm
繰返し精度：X、Y、Z軸とも±0.2μm
精度：X、Y、Z軸とも±0.5μm
水平、垂直真直度：X、Y軸±3μm、Z軸±1μm
位置安定性：±2nm
安定性・耐久性
（校正安定性・耐久性）
ナノレベルの位置決め安定性±2nm
速度リップル：0.1％＠100mm/s
高い幾何学的精度に対応
二次元エラー補正に対応
機器の状態を監視するスマートモジュール搭載可能
対応条件
（測定対象・使用環境対応範囲）
ナノ精度位置決めステージとして使用
IC構造のナノレベル分析に対応
カスタマイズされたモジュール設計システム
最大負荷荷重：X、Y軸20kg、Z軸10kg
最大速度：X、Y軸0.4m/s、Z軸0.03m/s
設置・使用条件
（設置方法／電源／通信接続）
外形寸法図あり
本体寸法単位：mm
X軸、Y軸、Z軸構成
エンコーダータイプ：光学、アナログ、1Vpp
取付穴、設置穴の寸法図あり
交換・切替のしやすさ
（測定レンジ切替・校正のしやすさ）
ニーズに合わせてカスタマイズ可能
カスタマイズされたモジュール設計システムに対応
スマートモジュール搭載可能
保守・清掃・安全
（校正対応・保守体制）
機器の状態を監視するスマートモジュール搭載可能
ワンストップサービスを提供する統合電子制御システム
低床構造
特徴
ナノ精度の位置決めに対応するN2ステージ
低床構造で、ナノレベルの位置決め安定性±2nmに対応
速度リップル0.1％＠100mm/sに対応
IC構造のナノレベル分析用途に対応
スマートモジュール搭載により、機器状態の監視に対応可能
カスタマイズされたモジュール設計と統合電子制御システムに対応
得意な分野・カテゴリー
物流ライン
パン・菓子
惣菜・調理食品
対象製品カテゴリー詳細
- 生産機械接続
- トラッキングシステム
- 製造指示システム
- 品質管理システム
- 自動化システム
- エネルギー効率システム
- 予知保全システム
- クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!
特長
低床構造
位置決め安定性±2nm
速度リップル±0.1%@100mm/s
高い幾何学的精度
機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能
ワンストップサービス
カスタム対応可能
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える、ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。
位置決め安定性は±2nmで、100mm/sでの高速安定性は±0.1%。
低床で安定した構造です。
ハイエンドの精密検査装置などに好適。
モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で培った技術をあますことなく発揮し、ものづくりに貢献する高精度ステージです。
取り扱い企業
- 企業名
- ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
- 電話
- 078-997-8827
- FAX
- 078-997-2622
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
- 北海道・東北
- 北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
- 関東
- 東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
- 東海
- 愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
- 北陸・甲信越
- 山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
- 関西
- 大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
- 中国・四国
- 鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
- 九州・沖縄
- 福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
- 海外
- 海外
製品詳細確認・カタログ無料ダウンロード可能
解決できる課題
関連キーワード：
騒音 測定 器 距離 測定 器 測定 器 レーザー 測定 器 距離 測定 機器 振動 測定 器 寸法 測定 器 計測 機器 電力 測定 器 電圧 測定 器 音量 測定 器 空気 環境 測定 器 デシベル 測定 器 空気 環境 測定 機器 音 測定 器 測定 器 測定 機 計測 機
