ナノ精密位置決めステージ【N2】
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担当者からのおすすめポイント!
特長
低床構造
位置決め安定性±2nm
速度リップル±0.1%@100mm/s
高い幾何学的精度
機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能
ワンストップサービス
カスタム対応可能
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に応える、ナノ精度の位置決めリニアモーターステージ。
位置決め安定性は±2nmで、100mm/sでの高速安定性は±0.1%。
低床で安定した構造です。
ハイエンドの精密検査装置などに好適。
モーションコントロールとシステムテクノロジーの開発・製造で培った技術をあますことなく発揮し、ものづくりに貢献する高精度ステージです。
取り扱い企業
- 企業名
- ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
- 電話
- 042-358-4501
- Webサイト
- サービス提供エリア
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