共通ツール流量計、フローメータ

スタンダードマスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES

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性能・機能
(測定精度・応答性)

対象流体は気体N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂などに対応。
最大流量は気体10SCCM~100SLM。
精度は±1~1.5%F.S.。

安定性・耐久性
(精度維持・耐環境性)

幅広い流量レンジに対応。
応答性は2秒以内。
再現性は±0.5%F.S.。

対応条件
(測定流体・口径・温度圧力対応範囲)

フルスケール流量は10SCCM~20SLM、30~100SLMの仕様に対応。
動作差圧は流量レンジにより50~300kPa。
許容周囲温度は0~50℃。

設置・接続条件
(取付規格/電源/通信出力)

電源は±15VDC。
流量設定信号は0~5VDC入力。
流量出力信号は0~5VDC出力。

交換・切替のしやすさ
(校正・交換のしやすさ)

N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで選定可能。
接続口径は仕様により選択可能。
使用流体・流量条件に合わせた型式選定に対応。

保守・清掃・安全
(洗浄性・保守体制)

接ガス部材質はSUS316L、SUS316、フッ素ゴム、NBRまたはCR。
耐圧は1MPa。

特徴

標準的な気体流量制御に対応したマスフローコントローラ。
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂など幅広いガスに対応。
流量制御範囲が広く、各種ガスラインの流量管理に活用可能。

得意な分野・カテゴリー

ユーティリティ設備

物流ライン

パン・菓子

対象製品カテゴリー詳細

  • 衛生管理
  • 温度管理
  • 水管理
  • 空気清浄・換気システム
  • HACCP関連
担当者からのおすすめポイント!

コフロック株式会社は社是「温故知新」を掲げ、気体・液体の流量計測・制御技術を磨き、「流体を科学する」メーカーとして事業を拡大してきました。

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製品説明・スペック紹介

■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 10SCCM~100SLM
■精度:±1~1.5%F.S.
幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで)

コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。
近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

取り扱い企業

企業名
コフロック株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒614-0311 京都府京田辺市草内当ノ木1-3
電話
0774-62-4411
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー(MFC)

【装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)】 大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト! 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 ビュルケルトの産業用マスフローは ●大流量  → ~2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様 → ~1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様 → 5KPaから対応 ●タイトシャット可能 → 別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度      → 300msec~ ●暖機運転      → 1min さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ/マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し! 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ/マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し! 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
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低コスト化も実現可能!IoT時代のマスフローコントローラ

【小~大流量を1台で制御!微小~高差圧(10kPa~1.0MPa)にも対応!低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC】 Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です! 《製品の特長》 1台で何役もこなします! ●小流量から大流量まで(例えば20~1500Nl/min(N2))を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値(セットポイント)に追従し安定(0.3~0.5秒以内) ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも! 簡単導入&直ぐにご使用可能です! ●校正済みで出荷されるため、設定不要&調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要(DC24Vにて起動)で簡単導入 ビュルケルトならでは&IoT世代 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です! 《用途》 ■水素ステーション関連 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御 などなど...

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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