真空ポンプ
設計排気速度(50Hz/60Hz) 160 /190 m³/h
到達圧力 (ガスバラ閉) 0.1 hPa (mbar)
到達圧力 (ガスバラ開) 0.5 hPa (mbar)
モーター定格(50Hz/60Hz) 3.0 / 4.2 kW
100 mbarでの消費電力(50Hz/60Hz) 2.9 / 3.8 kW
到達圧力での消費電力(50Hz/60Hz) 1.9 / 2.3 kW
騒音値(50Hz/60Hz) 68 / 70 dB(A)
オイル容量 7 l
質量 175 kg
寸法 (L x W x H) 815 x 510 x 410 mm
ガス入口 G 2"
リークディテクター(漏れ検査機)
ヘリウム排気速度 1.1 l/s
応答時間 (スニッファー法) < 1 s
最小可検リーク量(真空法) 5･10⁻¹³ Pa･m³/s
最小可検リーク量 (スニッファー) 1･10⁻⁸ Pa･m³/s
検出ガス ⁴He、³He、H₂
テスト方法 真空法およびスニッファー法
起動時間（校正含む） < 3.5 min
起動時間（校正含まず） < 2 min
バックポンプ ダイヤフラム真空ポンプ
バックポンプ排気速度 (50 Hz) 1.7 m³/h
最大消費電力 300 W
電源 90–240 V (50/60 Hz)
入出力インターフェース RS-232: 標準15ピン
動作温度 10–40 °C
騒音値 (ISO 2151) < 45 dB(A)
質量 21 kg
ユーザインタフェース タッチスクリーン(脱着式)
外形寸法 (L x W x H) 350 x 254 x 415 mm
接続フランジ DN 25 ISO-KF