ウエハアライナー
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担当者からのおすすめポイント!
内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
クリーン度の等級はClass 1、半導体産業、光電産業などを含め対応できます。
ウエハアライメントは最短4.9秒以内が可能です。ウエハの中心および角度等の補正動作と同時に繰り返し精度(センタリング)±0.1mmの実現が可能です。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視します。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供します。
製品の表面には状態表示パネルを設置しているので、ユーザーは即時に製品の使用状態を把握できます。また、両サイドの持ち運びしやすさ、安定性などユーザーに親切なデザインを実現しています。
製品のライフサイクルを通して環境責任を果たすため、 HPAシリーズはヨーロッパRoHS2認証を取得し、水質汚染等級最低限のグリース(WGK1)を使用し、エコ梱包材(NBSK)を使用しています。
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！
2-12インチ対応のウエハアライナー
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。
取り扱い企業
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- 所在地
- 〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
- 電話
- 042-358-4501
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