ウエハアライナー
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性能・機能
（搬送制御範囲・連携機能）
製品名：ウエハアライナー HPAシリーズ
3軸制御、X軸、Y軸、θ軸に対応
最短4.9秒以内のウエハアライメントに対応
中心繰返し精度：±0.1mm未満
Notch角度繰返し精度：±0.2°未満
通信方式：RS232
安定性・耐久性
（停止トラブル低減・連続稼働性）
HIWIN単軸ロボットモジュールを採用
高速、高精度、高剛性、高効率、省スペースを実現
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載
透明、半透明、不透明の物体輪郭検知に対応
クリーン度：Class 1
対応条件
（対応ライン構成・機器連携範囲）
対応ウエハサイズ：2インチから12インチまで
HPA26：2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ共用型
HPA48：4インチ、5インチ、6インチ、8インチ共用型
HPA812：8インチ、12インチ共用型
ウエハ材質：透明、半透明、不透明
対応材質：シリコンウエハ、基板、ガラスなど
設置・接続条件
（設置寸法／電源／通信配線）
HPA26寸法：L288mm、W190mm、H276mm
HPA48寸法：L288mm、W190mm、H206mm
HPA812寸法：L288mm、W190mm、H186mm
電源電圧：DC24V±10％
電流：Max.2A
真空圧力：マイナス0.05〜マイナス0.08MPa
交換・切替のしやすさ
（レイアウト変更・拡張性）
2インチから12インチまでの複数サイズに対応するシリーズ構成
HPA26、HPA48、HPA812など、対象ウエハサイズ別に選定可能
内蔵式コントローラー設計により、外部コントローラー配置と配線スペースが不要
固定用ボルト、レベル調整ボルトを備えた構成
保守・清掃・安全
（保守体制・安全制御対応）
緊急停止機能を搭載
電気制御システム、感知システム、真空システムをリアルタイム監視
状態表示パネルにより、使用状態の即時把握に対応
ヨーロッパRoHS2認証を取得
水質汚染等級最低限のグリース、WGK1を使用
特徴
ウエハの中心および角度補正に対応するHPAシリーズ
3軸制御により、ウエハやガラスなどのアライメントに対応
内蔵式コントローラー設計により、省スペース化に貢献
透明、半透明、不透明の対象物輪郭を検知可能
クリーン度Class 1で、半導体産業、光電産業向けに対応
緊急停止機能と各種システム監視により、安全面に配慮
得意な分野・カテゴリー
物流ライン
パン・菓子
惣菜・調理食品
対象製品カテゴリー詳細
- 生産機械接続
- トラッキングシステム
- 製造指示システム
- 品質管理システム
- 在庫管理システム
- 自動化システム
- 予知保全システム
- クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!
内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
クリーン度の等級はClass 1、半導体産業、光電産業などを含め対応できます。
ウエハアライメントは最短4.9秒以内が可能です。ウエハの中心および角度等の補正動作と同時に繰り返し精度(センタリング)±0.1mmの実現が可能です。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視します。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供します。
製品の表面には状態表示パネルを設置しているので、ユーザーは即時に製品の使用状態を把握できます。また、両サイドの持ち運びしやすさ、安定性などユーザーに親切なデザインを実現しています。
製品のライフサイクルを通して環境責任を果たすため、 HPAシリーズはヨーロッパRoHS2認証を取得し、水質汚染等級最低限のグリース(WGK1)を使用し、エコ梱包材(NBSK)を使用しています。
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！
2-12インチ対応のウエハアライナー
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。
取り扱い企業
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- ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
- 電話
- 078-997-8827
- FAX
- 078-997-2622
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
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