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共通ツール│流量計、フローメータ

精密ニードルバルブ付フローメータ MODEL RK1200 SERIES

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その全ての基礎となるのはお客様に寄り添う姿勢。これこそ当社が長きにわたり大切にし、一人ひとりの社員が今も生み出している独自の価値であると考えます。

お客様との縁がさらに広がるように。私たちはこれからも｢ありがとう｣と言われるモノづくりに日々挑戦し続けます。

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製品説明・スペック紹介

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
　　　　　　液体　H₂O
■最大流量：気体　5mL/min～100L/min
　　　　　　液体　5mL/min～2L/min
■精度：±2%F.S.
微少流量から幅広い流量レンジに対応
±2%F.S.以下の高精度な計測が可能
非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能、上部ニードルバルブ仕様対応
豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応。

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取り扱い企業

企業名
コフロック株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒614-0311 京都府京田辺市草内当ノ木１－３
電話
0774-62-4411
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー（MFC）

【装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)】 大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 ビュルケルトの産業用マスフローは ●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様　→　5KPaから対応 ●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度　　　　　　→　300msec～ ●暖機運転　　　　　　→　1min さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】 単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り 対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。 注：アンモニア仕様は特注できます。 ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ） 《用途》 大気圧非平衡プラズマの流体制御 プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。 その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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インラインフローメーター HSIFM3A

・ライン流量の見える化による製品品質の安定化 加工ラインの流量を、リアルタイムで計測。情報は専用ソフトで流量トレンドグラフなどに可視化され、製品や加工ラインの安定、トラブルの早期発見、遠隔監視による省人力化に寄与します。 ・容易な設置 フローメーター本体は配管に直接取り付けることができ、設置が容易です。 ・シンプルな構造 計量槽、シャッター、ロードセルの組み合わせによるシンプルな構造で、メンテナンスも容易です。

解決できる課題

  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 見える化
  • データ一元管理

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コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・電解液充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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Type8045 インサーションタイプの電磁式流量計

【弊社が得意とするインサーションタイプの電磁式流量計！ インサーションタイプにより導入、設置が極めて容易かつ製品重量も軽量です！】 容易に導入が可能な電磁式流量のご紹介です。弊社が得意とするインサーションタイプを採用することで、配管口径が大きい場合でも、配管部に専用フィッティングを取付けるだけで簡単に導入が可能！軽量な製品なため、サポート設置等も不要です。 本製品に内蔵される自動合わせこみ機能（Teach-In機能）を使うことで、インサーションタイプでありながら、約0.5%（読値）誤差を実現！ ●可動部が無い流量計測原理（電磁式流量計） ●瞬時流量と積算流量のどちらも表示可能 ●実際の流量が流れなくても、相当する仮想信号の出力が可能（試運転時などにお使いいただけます） ●CIP流量計測に最適 ●Alloy C22製電極もラインナップ（海水等の腐食性の高い流体向け） ●フィッティング材質：SUS製、PVC製 ●接続タイプ：Rcネジ、ヘルール、フランジ、TSソケット、溶接タブ 《仕様》 ○流量計測範囲 ： 0.3 ～ 75000 L/min 　　　　　　　 　（口径により異なります。） ○電圧 ： DC24V ○表示 ： 液晶画面　流量４ケタ表示 　　　　（表示単位は設定可能） ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、校正パルス信号 ○シート材質 ： FKM （EPDM に交換可能） ○電極材質 ： ステンレス(SUS316L 相当） ○流体圧力 ： 最高1.6MPa 　 　　　　　（接続形式により異なる場合があります。） ○流体温度 ： 0 ～ 110℃ （ステンレス製フィンガー） ○必要導電率 ： 20 μ S/cm 以上 〇精度：Teach-In機能実施時において約0.5%（読値）

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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温度補正付小型カルマン渦流量計 FML-300 series

■対象流体：液体　水、純水、薬液 ■最大流量：液体　2.5～100L/min ■精度：±2～3%F.S. ・温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減 ・接液部New PFA(オーリングレス) ・コンパクト設計 ・幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから10～100L/minまで) ・IP65相当の防水性

解決できる課題

  • 品質向上
  • コスト削減
  • 省スペース
  • 制御機器更新
  • 生産効率改善
  • 見える化

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Type8031 小型パドル式流量計

【樹脂ボディのコンパクト＆お求めやすいパドルホイール式流量計です。 腐食性流体や小流量計測に最適！】 本体材質にPOM(or ECTFE)を採用したパドルホイール式流量計です。腐食性流体や小流量計測に最適です。 ○精度 ： 約2% (FS) ○流体圧力 ： 最高1.0MPa ○流体温度 ： 0 ～ 80℃ 《仕様》 ○電圧 ： DC24V ○表示 ： 無し ○信号出力 ： パルス信号 ○シート材質 ： FKM またはEPDM ○本体材質 ： POM またはECTFE ○流体圧力 ： 最高1.0MPa ○流体温度 ： 0 ～ 80℃

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  • 品質向上
  • 省スペース
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精密ニードルバルブ付フローメータ MODEL RK1200 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 　　　　　　液体　H₂O ■最大流量：気体　5mL/min～100L/min 　　　　　　液体　5mL/min～2L/min ■精度：±2%F.S. 微少流量から幅広い流量レンジに対応 ±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能、上部ニードルバルブ仕様対応 豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 品質向上
  • CO2削減

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ　→　1:100の高精度 ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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Type8081 超音波式流量計

【圧力損失が少なく、流体に異物が混入していても影響を受けにくい流量計です！】 超音波を利用した流量計です。流体に異物が混入していても影響を受けにくいという特徴があります。また計測レンジが非常に幅広く、圧力損失が少ないのも特徴です。 ＜計測流量範囲＞ 0.06 ～ 20[L/min] 0.1 ～ 50[L/min] 0.16 ～ 82[L/min] 0.6　～ 116[L/min] 1.0 ～ 200[L/min] 《仕様》 ○口径 ： DN15 ～ 25 ○接続 ： G ネジ、NPT ネジ ○電圧 ： DC12 ～ 36V ○表示 ： 無し ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、パルス信号 ○シート材質 ： EPDM ○内面材質 ： ブラス( 黄銅)/ PES ○流体圧力 ： 最高１.6MPa ○流体温度 ： 5 ～ 90℃

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