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共通ツール│流量計、フローメータ

精密ニードルバルブ付フローメータ MODEL RK1200 SERIES

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その全ての基礎となるのはお客様に寄り添う姿勢。これこそ当社が長きにわたり大切にし、一人ひとりの社員が今も生み出している独自の価値であると考えます。

お客様との縁がさらに広がるように。私たちはこれからも｢ありがとう｣と言われるモノづくりに日々挑戦し続けます。

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製品説明・スペック紹介

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
　　　　　　液体　H₂O
■最大流量：気体　5mL/min～100L/min
　　　　　　液体　5mL/min～2L/min
■精度：±2%F.S.
微少流量から幅広い流量レンジに対応
±2%F.S.以下の高精度な計測が可能
非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能、上部ニードルバルブ仕様対応
豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応。

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取り扱い企業

企業名
コフロック株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒614-0311 京都府京田辺市草内当ノ木１－３
電話
0774-62-4411
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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樹脂製フローメータ MODEL RK20T SERIES

■対象流体：気体　Air/N₂ 　　　　　　液体　WATER ■最大流量：気体　0.5～100L/min 　　　　　　液体　25～2800mL/min ■精度：±6%F.S. ローコスト 短納期 コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 品質向上
  • コスト削減

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コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

【ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《製品の特長》 ■流量測定最大25 kg/h（水） ■非常に高い精度と範囲 ■高い長期安定性、ゼロ点調整不要 ■耐性の高い媒体接触素材 ■多種多様な液体に使用可能 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・薬剤充填 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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温度補正付小型カルマン渦流量計 FML-300 series

■対象流体：液体　水、純水、薬液 ■最大流量：液体　2.5～100L/min ■精度：±2～3%F.S. ・温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減 ・接液部New PFA(オーリングレス) ・コンパクト設計 ・幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから10～100L/minまで) ・IP65相当の防水性

解決できる課題

  • 品質向上
  • コスト削減
  • 省スペース
  • 制御機器更新
  • 生産効率改善
  • 見える化

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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

【設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)】 産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●高圧対応　→　～1.0 MPa ●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

解決できる課題

  • 品質向上
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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超音波流量計 MODEL FML-500

■対象流体：液体　水、純水 ■最大流量：液体　5L/min ■精度：±30mL/min～±1.5%F.S. 接液部New PFA 管内に障害物が無いストレート構造 コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 経費削減
  • 品質向上
  • コスト削減
  • 歩留まり改善
  • 省エネ対策
    • …

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Type8045 インサーションタイプの電磁式流量計

【弊社が得意とするインサーションタイプの電磁式流量計！ インサーションタイプにより導入、設置が極めて容易かつ製品重量も軽量です！】 容易に導入が可能な電磁式流量のご紹介です。弊社が得意とするインサーションタイプを採用することで、配管口径が大きい場合でも、配管部に専用フィッティングを取付けるだけで簡単に導入が可能！軽量な製品なため、サポート設置等も不要です。 本製品に内蔵される自動合わせこみ機能（Teach-In機能）を使うことで、インサーションタイプでありながら、約0.5%（読値）誤差を実現！ ●可動部が無い流量計測原理（電磁式流量計） ●瞬時流量と積算流量のどちらも表示可能 ●実際の流量が流れなくても、相当する仮想信号の出力が可能（試運転時などにお使いいただけます） ●CIP流量計測に最適 ●Alloy C22製電極もラインナップ（海水等の腐食性の高い流体向け） ●フィッティング材質：SUS製、PVC製 ●接続タイプ：Rcネジ、ヘルール、フランジ、TSソケット、溶接タブ 《仕様》 ○流量計測範囲 ： 0.3 ～ 75000 L/min 　　　　　　　 　（口径により異なります。） ○電圧 ： DC24V ○表示 ： 液晶画面　流量４ケタ表示 　　　　（表示単位は設定可能） ○信号出力 ： 4 ～ 20mA、校正パルス信号 ○シート材質 ： FKM （EPDM に交換可能） ○電極材質 ： ステンレス(SUS316L 相当） ○流体圧力 ： 最高1.6MPa 　 　　　　　（接続形式により異なる場合があります。） ○流体温度 ： 0 ～ 110℃ （ステンレス製フィンガー） ○必要導電率 ： 20 μ S/cm 以上 〇精度：Teach-In機能実施時において約0.5%（読値）

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  • 省スペース
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大流量用フローメータ MODEL RK2000/RK2005/RK2006 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 　　　　　　液体　H₂O ■最大流量：気体　100～1000L/min 　　　　　　液体　10～30L/min ■精度：±5%F.S. 大流量に対応 上部ニードルバルブ仕様対応 リードスイッチによる警報機能あり。 コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

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スタンダードマスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量：気体　10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

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液体用フローコントローラ　最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《用途》 ■エレクトロニクス業界向け蒸着関連装置 ■各種工業炉・燃焼炉 ■食品/製薬産業向け充填機 など

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表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量：気体　10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応(N₂換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) 表示器一体型で各種機能使用可能 　瞬時/積算流量表示、アラーム設定ほか RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能) コフロックは、国内工場にて徹底した品質管理につとめております。 近年は液体の計測・制御機器における製品開発にも注力しており、「流体のコフロック」として信頼していただける製品を世界へと送り出してまいります。

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