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ウエハアライナー

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078-997-8827

性能・機能
（搬送制御範囲・連携機能）

製品名：ウエハアライナー HPAシリーズ
3軸制御、X軸、Y軸、θ軸に対応
最短4.9秒以内のウエハアライメントに対応
中心繰返し精度：±0.1mm未満
Notch角度繰返し精度：±0.2°未満
通信方式：RS232

安定性・耐久性
（停止トラブル低減・連続稼働性）

HIWIN単軸ロボットモジュールを採用
高速、高精度、高剛性、高効率、省スペースを実現
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載
透明、半透明、不透明の物体輪郭検知に対応
クリーン度：Class 1

対応条件
（対応ライン構成・機器連携範囲）

対応ウエハサイズ：2インチから12インチまで
HPA26：2インチ、3インチ、4インチ、5インチ、6インチ共用型
HPA48：4インチ、5インチ、6インチ、8インチ共用型
HPA812：8インチ、12インチ共用型
ウエハ材質：透明、半透明、不透明
対応材質：シリコンウエハ、基板、ガラスなど

設置・接続条件
（設置寸法／電源／通信配線）

HPA26寸法：L288mm、W190mm、H276mm
HPA48寸法：L288mm、W190mm、H206mm
HPA812寸法：L288mm、W190mm、H186mm
電源電圧：DC24V±10％
電流：Max.2A
真空圧力：マイナス0.05〜マイナス0.08MPa

交換・切替のしやすさ
（レイアウト変更・拡張性）

2インチから12インチまでの複数サイズに対応するシリーズ構成
HPA26、HPA48、HPA812など、対象ウエハサイズ別に選定可能
内蔵式コントローラー設計により、外部コントローラー配置と配線スペースが不要
固定用ボルト、レベル調整ボルトを備えた構成

保守・清掃・安全
（保守体制・安全制御対応）

緊急停止機能を搭載
電気制御システム、感知システム、真空システムをリアルタイム監視
状態表示パネルにより、使用状態の即時把握に対応
ヨーロッパRoHS2認証を取得
水質汚染等級最低限のグリース、WGK1を使用

特徴

ウエハの中心および角度補正に対応するHPAシリーズ
3軸制御により、ウエハやガラスなどのアライメントに対応
内蔵式コントローラー設計により、省スペース化に貢献
透明、半透明、不透明の対象物輪郭を検知可能
クリーン度Class 1で、半導体産業、光電産業向けに対応
緊急停止機能と各種システム監視により、安全面に配慮

得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

対象製品カテゴリー詳細

  • 生産機械接続
  • トラッキングシステム
  • 製造指示システム
  • 品質管理システム
  • 在庫管理システム
  • 自動化システム
  • 予知保全システム
  • クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!

内蔵式コントローラーの設計(オールインワン)で、外にコントローラー配置及び配線スペースが不要で、同スペックのものでは、容積は業界最小です。
インテリジェントな透光性レーザーセンサーを搭載し、透明、半透明及び不透明等の物の輪郭が検知できます。直径最小2インチから、最大12インチまでのウエハ、ガラス等の対応ができます。
クリーン度の等級はClass 1、半導体産業、光電産業などを含め対応できます。
ウエハアライメントは最短4.9秒以内が可能です。ウエハの中心および角度等の補正動作と同時に繰り返し精度(センタリング)±0.1mmの実現が可能です。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視します。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供します。
製品の表面には状態表示パネルを設置しているので、ユーザーは即時に製品の使用状態を把握できます。また、両サイドの持ち運びしやすさ、安定性などユーザーに親切なデザインを実現しています。
製品のライフサイクルを通して環境責任を果たすため、 HPAシリーズはヨーロッパRoHS2認証を取得し、水質汚染等級最低限のグリース(WGK1)を使用し、エコ梱包材(NBSK)を使用しています。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！
2-12インチ対応のウエハアライナー
ハイウィンウエハアライナー(HIWIN Pre – Aligner)のHPAシリーズは3軸制御の製品で、 HIWIN単軸ロボットモジュールを採用し、高速、高精度、高剛性、高効率および省スペースを実現できます。

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取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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エコノミーシリーズ　EC

特長 1.　シンプルな構造でリーズナブル LMガイドを直接ベースとしており、部品点数を減らしシンプルな構造に設計されています。 2.　軽量・コンパクト ボールリテーナ入りLMガイドSRSを採用し、レール断面高さはコンパクトな構造のため、軽量かつ省スペース設計が可能なシリーズです。 3.　用途に合わせたモータ選択が可能 リーズナブルなステッピングモータと高性能なサーボモータを用途に応じて選択可能です。専用コントローラによる制御も可能なため、セットアップが簡単にできるシリーズです。 4.　長期メンテナンスフリー ボールリテーナ入りLMガイドSRSを採用※し、ボールねじ軸は最適な潤滑を可能にした潤滑装置QZを採用し、長期メンテナンスフリーを実現しました。 ※ スライダタイプのみ。 5.　寿命計算が可能 使用条件に合わせてLMガイド、ボールねじの走行寿命が算出可能です。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

PCI-BUSパルス型モーションボード　PCI4P

PCI-BUSパルス型モーションボード　PCI4P 2.4 Mppsの最大パルス出力レート STP / DIR、CW / CCW、A / Bパルス形式をサポート 3軸円弧と直線補間 4×32は、エンコーダ入力カウンタビット

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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  • 搬送・制御システム

リンクボール

特長 リンクボールは、球面部に高精度の軸受用鋼球を使用し、ダイカスト鋳造でくるんでホルダを成形した後、シャンク部を特殊溶接しています。この独創的な製法により、鋼球の鏡面がホルダ球面部に転写されて互いに全面接触するため、最小のすきまで滑らかな動作が得られます。 〇コンパクト設計 BL形は高度なバランス設計により、必要十分な強度を保ちながら極めてコンパクトな形状となっています。自動車の車高センサリンク部やミッションコントロール部などに最適です。 〇真球度は0.001mm ボール付きシャンク球面部は、軸受用鋼球の真球度がそのまま転写されるため、真球度は0.001mm以下という最小のすきまでなめらかな動作が得られ、リンクモーションに良好な操作性とフィーリングを与えます。 〇ホルダ材は2種類 ホルダ材として、BL-A形には軽量で耐摩耗性に優れた新開発高強度アルミ合金“A-1合金”(合金参照)を使用しています。また、BL形6以上およびRBI形には従来から実績のある高強度亜鉛合金(合金参照)を使用しています。 〇優れた潤滑性能 ブーツ内にはグリースが封入されているため、潤滑性に優れ耐摩耗性を向上させます。 〇大型の六角座面を採用 シャンク部の六角寸法は自動車用規格に基づいて小型六角ボルトの座面の大きさと同寸法にしているので、締付けによる座面陥没等がなく確実なリンクモーション機構が得られます。 〇泥水に強いブーツ付き ボール付きシャンク部の動きに追従性のよいブーツにより、泥水などの中で使用しても球面部に浸入しないので、屋外や乗用車のシャーシ下まわりに使用している実績があります。なお、詳しくは泥水耐久試験データ(リンクボールBL形の各種耐久試験)をご参照ください。 合金 〇高強度アルミ合金“A-1合金” BL-A形のホルダに採用している新開発の高強度アルミ合金“A-1合金”は、Aℓ-Zn-Si3元成分合金で、これまでにないダイカスト用アルミ合金です。材料の機械的性質、物理的性質は、下記の通りです。 ※ 下記値は目安値であり、保証値ではありません。 ●A-1合金の特長 ・ 強度は従来のアルミダイカスト合金の中で最も強い部類に属します。 ・ 耐力は一般的なアルミダイカスト合金(ADC12)の約2倍です。 ・ 硬さは高強度亜鉛合金と同等で、耐摩耗性に優れています。 ・ 比重は高強度亜鉛合金の1/2以下で大幅な軽量化が可能です。 ・ 耐食性に優れ、自動車の足まわり用部品として使用可能です。 ●機械的性質 引張強さ　343~392 N/mm2 引張耐力(0.2%)　245~294 N/mm2 圧縮強さ　490~637 N/mm2 圧縮耐力(0.2%)　294~343 N/mm2 シャルピー衝撃値　0.098~0.196 N・m/mm2 伸び　2~3 % 硬さ　140~160 HV ●物理的性質 比重　3 溶融点　570℃ 比熱　793 J/(kg・k) 線膨張率　22×10-6 〇高強度亜鉛合金 BL形およびRBI形のホルダに用いられる高強度亜鉛合金は、亜鉛をベースにAℓ、Cu、Mg、Be、Tiを配合し、軸受用合金として開発された材料で、機械的性質、耐焼付性や耐摩耗性に優れています。材料の機械的性質、物理的性質、耐摩耗性は、下記の通りです。 ※ 下記値は目安値であり、保証値ではありません。 ●機械的性質 引張強さ　275~314 N/mm2 引張耐力(0.2%)　216~245 N/mm2 圧縮強さ　539~686 N/mm2 圧縮耐力(0.2%)　294~343 N/mm2 疲れ強さ　132 N/mm2×107(シェンク式曲げ試験) シャルピー衝撃値　0.098~0.49N・m/mm2 伸び　1~5 % 硬さ　120~145 HV ●物理的性質 比重　6.8 溶融点　390℃ 比熱　460 J/(kg・k) 線膨張率　24×10-6 ●耐摩耗性 高強度亜鉛合金の耐摩耗性は、黄銅3種、青銅3種より優れ、りん青銅2種とほぼ同等です。 アムスラー式摩耗試験機 試験片回転数　185 min-1 荷重　392 N 潤滑剤　ダイナモ油 〇荷重方向の呼び方 リンクボールに作用する荷重方向は、その形状にかかわらず、ボール付きシャンク部の軸線に平行な方向を「アキシアル方向」、直角な方向を「ラジアル方向」と呼びます。 〇押抜荷重と引抜荷重 アキシアル方向に作用する荷重のうち、ボール付きシャンク部をホルダに押付ける方向の荷重を「押抜荷重」、ホルダから抜く方向の荷重を「引抜荷重」と呼びます。 ●荷重負荷方向 下表に各形番の荷重負荷方向を示します。破損の原因となりますので、荷重負荷方向の異なる使用は避けてください。 形番 アキシアル方向 　ラジアル方向 BL形　　　　✕ 　　　　　　　〇 BL-A形　　　✕ 　　　　　　　〇 R B I形　　　〇 　　　　　　　✕ 〇リンクボールBL形の各種耐久試験 試験の目的 THKリンクボールBL形と他社相当品との性能差を確認するために実施したものです。その結果、自動車・トラック・バスなどのミッションコントロール部、農業用トラクタのステアリング部等の連結部に採用されています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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  • 搬送・制御システム

パン＆トレイ搬送カート　PT FLEX

PTFLEX 【材質】 アルミニウム、総アルマイト仕上げ、ポリカーボネイト キャスター：ユニクロメッキ金具、φ125mmウレタン車、4輪自在、対角2輪ストッパー付き 【耐荷重】 200kg 【有効棚板数（枚）】 HIGHタイプ：38 LOWタイプ：15 【価格（税別）】 価格は「サイズ展開・価格（PDF）」にて掲載しております ※価格表示がない製品につきましてはお問い合わせください

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • コスト削減
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 在庫管理

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  • 搬送・制御システム

自立式運搬システム　Eヤード

驚くほどの軽量化を実現！サニタリー仕様で衛生的です 『Eヤード』はeeposアルミレールの特長を生かした自立式運搬システムです。 やぐらとして完結するため、工場内に別途設置工事は不要。 キャスター付で、作業場所が変わっても簡単に移動が可能です。 また、特殊工具が不要で容易に組立できます。 サイズについては、オーダーメイド対応も可能です。 【概略仕様】 ■自立式システム：キャスター付移動タイプ・固定タイプ ■現地組立方式：2名x1時間で完成(当社実績値) ■走行・横行レール：eeposアルミ軽量レールシステム使用 ■外形寸法：MAX 幅 8000mmx奥行 8000mmx高さ 4000mmまで対応 ■吊荷重：100kg～300kg(吊具含む)

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • 歩留まり改善
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 物流オートメーション

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  • 搬送・制御システム

単軸ロボット KKシリーズ

幅広い自動化設備に活躍！ ボールねじとリニアガイドウェイを組合せモジュール化した単軸ロボット。 ACサーボモーターもしくはステッピングモーター、ドライバーと組合せてワンストップでの提案も可能です。

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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  • 搬送・制御システム

内部循環こま式ボールねじ

リターンキャップがナットの内部についているタイプ。一般的なリードに適しており、ナット外径寸法はコンパクトです。

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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バネアップ

籾摺り作業の籾搬送にはこれが一番！！ いかに確実に、籾を痛めず楽に張り込むか？ 稲作作業の最後の仕事、籾摺り。 籾を籾摺り機に搬送する為には様々な方法がありますがいかに確実に、籾を痛めず楽に張り込むか？ そんなお客様の声に応えた、親切設計の穀物搬送ホースがバネアップです。 使い方も、組み立ても、収納もとっても簡単です 籾の中にホースを差し込んで、スイッチを入れるだけで後は出口側満量センサーの作動により、自動運転。 ホースはフレキシブルに曲がりますので、狭い作業場でも対応可能です。 籾摺り作業終了後も、搬送チューブはワンタッチで、脱着できますので、片付けもとっても簡単です。 籾摺り機の能力や作業場の条件に合せて、3M～8M、単相100V、三相200Vと、機種も豊富に取り揃えております。

解決できる課題

  • 利益率改善
  • 品質向上
  • 生産効率改善

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アルミクレーンシステム　eepos

『eepos』は、スムーズな動作による作業効率UP・安全性向上が可能な アルミクレーンシステムです。 操作が楽で、短期間で導入も可能。 アルミニウムレールは、用途、目的に合わせて選べるよう豊富にラインアップ。 稼働式サスペンションや電動ドライブなど、周辺部品も多数ご用意しています。 【特長】 ■スムーズな動作による作業効率UP・安全性向上 ■操作が楽 ■短期間で導入も可能 ■豊富なラインアップ ■周辺部品も多数ご用意

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • 歩留まり改善
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 物流オートメーション

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移動棚　トップトラックシステム

倉庫や保管庫の収納効率、作業効率が向上 エレクター「トップトラックシステム」は、シェルフにドーリー（台車）とレール等を設置するだけで、 可動式の移動棚（移動ラック）になるので、収納効率を大幅に向上できるシステムです。 基礎工事不要で、レイアウト変更や拡張も自在。 レールが床面ではなくシェルフの上部にあるので、カートによるピッキング作業も容易に行え、作業の効率化が図れます。 さらにシェルフの専門メーカーならではの豊富な棚板バリエーションとサイズで、あらゆる用途と環境に適応します。

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • コスト削減
  • 自動化
  • 在庫管理

解決できる課題

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