共通ツール搬送・制御システム

ウエハ搬送ロボット Eシリーズ

参考価格
お問い合わせください

製品・サービスに関する資料


この製品・サービスの資料DL、お問い合わせ

得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

担当者からのおすすめポイント!

高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

高性能&高剛性が特長!
2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット
自社製DDモーターを採用し、高性能&高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
電話
042-358-4501
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
海外
海外

製品詳細確認・カタログ無料ダウンロード可能

カタログダウンロード

カタログダウンロード

  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

総ボールタイプ KR

特長 LMガイドアクチュエータKR形は、高剛性なU字形断面形状のアウタレールと、両側面にLMガイド部、中央にボールねじ部を一体構造としたインナブロックにより、最小のスペースで、高剛性、高精度なアクチュエータ機能をもっています。 また、ハウジングA/Bがサポートユニット、インナブロックがテーブルの役目も兼ねているので設計および組立ての工数を大幅に削減することが可能となり、トータルコストの低減に寄与します。 〇4方向等荷重 インナブロックに作用する4方向(ラジアル方向・逆ラジアル方向・横方向)の荷重に対して同一定格荷重となるように、各ボール列を接触角45°で配置されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。 〇高剛性 U字形断面形状のアウタレールの採用により、モーメントやねじりに対しての剛性が向上しました。 〇高精度 直線案内部は、予圧を与えても軽く動く4列サーキュラーアーク溝のため、すきまがなく高剛性の案内が得られます。また、負荷の変動による摩擦抵抗の変化は最小に抑えられ、高精度送りを実現します。各種装置に精密級の位置決め性能を提供することで、高精度化・高品質化に大きく貢献しています。 〇省スペース 両側面にLMガイド部、中央にボールねじ部を一体構造としたインナブロックにより、最小のスペースで高剛性、高精度のアクチュエータ機能をもたせました。 〇シール KR形は、防塵のため標準でエンドシール・サイドシールが取付けられています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 省スペース
  • 生産効率改善

カタログダウンロード

カタログダウンロード

  • 共通ツール
  • 搬送・制御システム

特殊環境用LMガイド

特長 高温や高耐食など特殊な環境下で使用するための、使用環境に適したLMガイドをシリーズ化してあります。 高温用LMガイド ・ステンレス鋼製のエンドプレート、高温用ゴム材採用のエンドシールにより最高使用温度150℃を実現しました。 ・寸法安定化処理を施しているため、加熱冷却後の寸法安定性に優れています(高温での熱膨張はあります)。 ・LMブロック、LMレール、ボールともに耐食性に優れるステンレス鋼を使用しているため、クリーンルームでの使用に最適です。 ・常温から高温まで温度が変化してもグリースによる転がり抵抗の変動が少ない高温用グリースを採用しました。 中低真空用LMガイド ・大気圧~真空(10-3[pa])の幅広い環境で使用可能です。 ・ベーキング温度、最高200℃ ※ まで対応可能です。 ※ベーキング温度が100℃を超える場合は、基本定格荷重に温度係数を乗じてください。 ・中低真空専用ラビリンスエンドシールは、グリース保持性を向上させることで長期真空中の使用が可能です。 ・中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現します。 高耐食LMガイド ・LMレールは耐食性に優れたオーステナイト系ステンレス鋼SUS304材、LMブロックおよびボールにはマルテンサイト系ステンレス鋼の中で最も耐食性に優れるSUS431材を採用することで、従来のステンレス鋼(SUS440C材)に比べ耐食性を大幅に向上させることができます。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

関連キーワード:

自動 搬送 荷物 搬送 粉 体 搬送 搬送 ローラー 機械 搬送 粉 体 搬送 エアー パレット 搬送 制御 システム 産業 制御 システム