ウエハロードポート
- 参考価格
- お問い合わせください
製品・サービスに関する資料
PDFダウンロード
性能・機能
（搬送制御範囲・連携機能）
製品名：ウエハロードポート HLPシリーズ
8インチ、12インチ製品の搬入出に対応
8インチ、12インチのFOUP、FOSBにダイレクト対応
8インチオープンカセット、12インチメタルキャリアはオプションアダプターで対応
通信方式：RS232
E84、Parallel I/Oはオプション対応
安定性・耐久性
（停止トラブル低減・連続稼働性）
クリーン度：Class 1
電気制御システム、感知システム、真空システムなどをリアルタイム監視
関連する安全規制に準拠
緊急停止機能を搭載
主要コンポーネントは自社開発および製造
対応条件
（対応ライン構成・機器連携範囲）
対応製品：8インチ、12インチFOUP、FOSB
対応製品：8インチOpen Cassette、H bar
対応製品：12インチMetal Carrier
使用可能工程：フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査などの半導体プロセス装置
FOUP有無検出、載置状態検出、ドアドック検出、ウエハ飛出し検出に対応
キャリアIDリーダー、RFID、Bar codeモジュールはオプション対応
設置・接続条件
（設置寸法／電源／通信配線）
寸法：高さ1384mm、幅469mm、奥行492mm
HDP水平基準面高さ：900mm
電源電圧：DC24V±3％
電流：Max.5A
空圧源：0.5〜0.7MPa
真空：マイナス0.05〜マイナス0.07MPa
交換・切替のしやすさ
（レイアウト変更・拡張性）
8インチ、12インチ共用型
8インチオープンカセットアダプターはオプション対応
12インチメタルキャリアアダプターはオプション対応
本体改造後、12インチフレームカセットの使用に適応可能
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じたカスタマイズが可能
保守・清掃・安全
（保守体制・安全制御対応）
緊急停止機能を搭載
挟み込み防止機能を搭載
LEDステータスインジケーターを搭載
電気制御システム、感知システム、真空システムをリアルタイム監視
標準出荷内訳に緊急停止短絡コネクター、背面用シールストリップ、六角穴付きボルトセットを含む
特徴
8インチ、12インチのFOUP、FOSBに対応する共用型ウエハロードポート
クリーン度Class 1で、半導体プロセス装置向けに使用可能
FOUP有無検出、載置状態検出、ドアドック検出、ウエハ飛出し検出などの標準機能を搭載
RFID、Bar code、E84、マッピング機能などをオプションで選択可能
電気制御、感知、真空システムをリアルタイム監視し、安全保護に対応
自社製のボールねじ、リニアガイドウェイなどを主要コンポーネントに採用
得意な分野・カテゴリー
物流ライン
パン・菓子
惣菜・調理食品
対象製品カテゴリー詳細
- 生産機械接続
- トラッキングシステム
- 製造指示システム
- 品質管理システム
- 自動化システム
- 予知保全システム
- クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!
製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。
関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。
ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。
お気軽にお問い合わせください。
製品説明・スペック紹介
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応！
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。
取り扱い企業
- 企業名
- ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
- 所在地
- 〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
- 電話
- 078-997-8827
- FAX
- 078-997-2622
- Webサイト
- サービス提供エリア
-
- 北海道・東北
- 北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
- 関東
- 東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
- 東海
- 愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
- 北陸・甲信越
- 山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
- 関西
- 大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
- 中国・四国
- 鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
- 九州・沖縄
- 福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
- 海外
- 海外
製品詳細確認・カタログ無料ダウンロード可能
解決できる課題
関連キーワード：
自動 搬送 荷物 搬送 粉 体 搬送 搬送 ローラー 機械 搬送 粉 体 搬送 エアー パレット 搬送 制御 システム 産業 制御 システム
