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ウエハロードポート

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得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

担当者からのおすすめポイント!

製品のクリーン度はClass 1。フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。

関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。

ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。
ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応!
ハイウィン ウエハロードポート (HIWIN Load Port)のHLPシリーズは、8インチ、12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポートで、8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。
8インチオープンカセットと12インチメタルキャリアは、適用アダプターをオプションでご選択いただけます。

取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒183-0044 東京都府中市日鋼町1-1ヒューリック府中タワー6階
電話
042-358-4501
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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スライドレール

特長 スライドレールは鋼板をロールフォーミングで精密成形した低価格な有限タイプの直線案内です。 薄形コンパクトで、取付けが簡単なので様々な用途の直線案内に適しています。スライドレールは、複写機、計測機、通信機、医療機器、自動販売機、各種事務機器等のスライド部に幅広く利用できます。 スライドレールFBL形は、鋼板をロールフォーミングで精密成形したインナレールとアウタレールとの間に2条のボール列を配列しています。ボールは精密プレスによって成形されたリテーナにより、常に等間隔に配置されているため、ボール同士の相互摩擦がないスムーズなスライド機構です。 〇取付けが容易なユニットタイプ 取り付ける相手の取付面にそのまま取付けられます。インナレールを抜いても、ボールはリテーナで保持されているため脱落しません。 〇薄形コンパクト スライドレールFBL形の断面形状は薄形に設計されているため、取付時のサイドスペースは少なく、省スぺースが要求される箇所に適しています。 〇高耐食性 スライドレールFBL形は亜鉛めっき処理、E形、D形には白色アルマイト処理が施されているため耐食性に優れています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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リンクボール

特長 リンクボールは、球面部に高精度の軸受用鋼球を使用し、ダイカスト鋳造でくるんでホルダを成形した後、シャンク部を特殊溶接しています。この独創的な製法により、鋼球の鏡面がホルダ球面部に転写されて互いに全面接触するため、最小のすきまで滑らかな動作が得られます。 〇コンパクト設計 BL形は高度なバランス設計により、必要十分な強度を保ちながら極めてコンパクトな形状となっています。自動車の車高センサリンク部やミッションコントロール部などに最適です。 〇真球度は0.001mm ボール付きシャンク球面部は、軸受用鋼球の真球度がそのまま転写されるため、真球度は0.001mm以下という最小のすきまでなめらかな動作が得られ、リンクモーションに良好な操作性とフィーリングを与えます。 〇ホルダ材は2種類 ホルダ材として、BL-A形には軽量で耐摩耗性に優れた新開発高強度アルミ合金“A-1合金”(合金参照)を使用しています。また、BL形6以上およびRBI形には従来から実績のある高強度亜鉛合金(合金参照)を使用しています。 〇優れた潤滑性能 ブーツ内にはグリースが封入されているため、潤滑性に優れ耐摩耗性を向上させます。 〇大型の六角座面を採用 シャンク部の六角寸法は自動車用規格に基づいて小型六角ボルトの座面の大きさと同寸法にしているので、締付けによる座面陥没等がなく確実なリンクモーション機構が得られます。 〇泥水に強いブーツ付き ボール付きシャンク部の動きに追従性のよいブーツにより、泥水などの中で使用しても球面部に浸入しないので、屋外や乗用車のシャーシ下まわりに使用している実績があります。なお、詳しくは泥水耐久試験データ(リンクボールBL形の各種耐久試験)をご参照ください。 合金 〇高強度アルミ合金“A-1合金” BL-A形のホルダに採用している新開発の高強度アルミ合金“A-1合金”は、Aℓ-Zn-Si3元成分合金で、これまでにないダイカスト用アルミ合金です。材料の機械的性質、物理的性質は、下記の通りです。 ※ 下記値は目安値であり、保証値ではありません。 ●A-1合金の特長 ・ 強度は従来のアルミダイカスト合金の中で最も強い部類に属します。 ・ 耐力は一般的なアルミダイカスト合金(ADC12)の約2倍です。 ・ 硬さは高強度亜鉛合金と同等で、耐摩耗性に優れています。 ・ 比重は高強度亜鉛合金の1/2以下で大幅な軽量化が可能です。 ・ 耐食性に優れ、自動車の足まわり用部品として使用可能です。 ●機械的性質 引張強さ 343~392 N/mm2 引張耐力(0.2%) 245~294 N/mm2 圧縮強さ 490~637 N/mm2 圧縮耐力(0.2%) 294~343 N/mm2 シャルピー衝撃値 0.098~0.196 N・m/mm2 伸び 2~3 % 硬さ 140~160 HV ●物理的性質 比重 3 溶融点 570℃ 比熱 793 J/(kg・k) 線膨張率 22×10-6 〇高強度亜鉛合金 BL形およびRBI形のホルダに用いられる高強度亜鉛合金は、亜鉛をベースにAℓ、Cu、Mg、Be、Tiを配合し、軸受用合金として開発された材料で、機械的性質、耐焼付性や耐摩耗性に優れています。材料の機械的性質、物理的性質、耐摩耗性は、下記の通りです。 ※ 下記値は目安値であり、保証値ではありません。 ●機械的性質 引張強さ 275~314 N/mm2 引張耐力(0.2%) 216~245 N/mm2 圧縮強さ 539~686 N/mm2 圧縮耐力(0.2%) 294~343 N/mm2 疲れ強さ 132 N/mm2×107(シェンク式曲げ試験) シャルピー衝撃値 0.098~0.49N・m/mm2 伸び 1~5 % 硬さ 120~145 HV ●物理的性質 比重 6.8 溶融点 390℃ 比熱 460 J/(kg・k) 線膨張率 24×10-6 ●耐摩耗性 高強度亜鉛合金の耐摩耗性は、黄銅3種、青銅3種より優れ、りん青銅2種とほぼ同等です。 アムスラー式摩耗試験機 試験片回転数 185 min-1 荷重 392 N 潤滑剤 ダイナモ油 〇荷重方向の呼び方 リンクボールに作用する荷重方向は、その形状にかかわらず、ボール付きシャンク部の軸線に平行な方向を「アキシアル方向」、直角な方向を「ラジアル方向」と呼びます。 〇押抜荷重と引抜荷重 アキシアル方向に作用する荷重のうち、ボール付きシャンク部をホルダに押付ける方向の荷重を「押抜荷重」、ホルダから抜く方向の荷重を「引抜荷重」と呼びます。 ●荷重負荷方向 下表に各形番の荷重負荷方向を示します。破損の原因となりますので、荷重負荷方向の異なる使用は避けてください。 形番 アキシアル方向  ラジアル方向 BL形    ✕        〇 BL-A形   ✕        〇 R B I形   〇        ✕ 〇リンクボールBL形の各種耐久試験 試験の目的 THKリンクボールBL形と他社相当品との性能差を確認するために実施したものです。その結果、自動車・トラック・バスなどのミッションコントロール部、農業用トラクタのステアリング部等の連結部に採用されています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

関連キーワード:

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