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ビュルケルトジャパン株式会社

電動コントロールバルブ Type336Xシリーズ

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【比例制御タイプ。モーター弁の中では高い応答速度を誇り、耐圧は真空から2.5MPaまで。蒸気などの高温流体にも対応】電動コントロール弁Type336Xシリーズ比例制御タイプ。モーター弁の中では高い応答速度を誇り、耐圧は真空から2.5MPaまで。気体、液体だけでなく蒸気などの高温流体にも対応。《製品の特長》 ○比例制御タイプ　レンジアビリティ1:50 ○応答速度　例：50A → 6.2sec ○耐圧～2.5MPa ○異物に強く、蒸気や再生水、またエアーの取りづらい排水設備周りでも実績多数。《仕様》 ○オリフィス　DN 15～50mm ○本体材質　ステンレス ○シール材質　PTFE他 ○流体　気体、液体、蒸気など各種 ○流体温度　 0～70℃ ○周囲温度　 -10～60℃ ○ポート接続　1/2"、3/4"、1"、1-1/2"、2" ○作動電圧　 DC24V ○設置向き　任意
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Type8316 圧力計

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【本体高さ約30mmのコンパクト設計/圧力センサ素子が破損しても、流体が外部に流出しない構造】コンパクトな圧力計タイプ8316は、機械的堅牢製、EMC特性、および運用上の安全性に関して最も高い要件を満たしています。これは、要求の厳しい産業に特に適しています。ステンレススチールが耐性のない腐食性の媒体の場合、PVDFのプロセス接続が利用可能です。《製品の特長》 ●本体高さが約30mmのコンパクト設計 ●圧力センサ素子が破損しても、流体が外部に流出しない構造 ●２線式アナログ信号出力《仕様》 ○圧力計測範囲： 0.0-0.1 ～ 0-10 MPa（機種により異なります） ○電圧： DC 7 ～ 33 V ○表示：無し ○信号出力：アナログ信号（4 ～ 20mA） ○本体材質：ステンレス 1.4305、セラミック ○シール材質： FKM ○接続： G 1/4 ネジ接続　など ○流体温度： -15 ～ 125℃ ○精度： ≦ 0.5 % F.S.
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Type8201 エナメル電極PH計

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【機械的強度と耐熱強度に優れたエナメル電極を使用したPH計です。高温（140℃まで）のPH計測が可能になりました】エナメル電極pHセンサは、電極に琺瑯を採用しており、従来のガラス電極では難しかった高強度・高耐久を実現しております。従来直接計測が難しいとされた食品・飲料・製薬ライン/タンクでの直接計測を可能としたハイジェニック仕様のpHセンサです。ヨーグルト、ビール、ワイン、チーズなどの発酵タンクのpH管理、超純水の管理、化学プラントの厳しいライン/タンクなどの多くのアプリケーションでご使用頂けます。《仕様》・最高温度：140℃ ・最高圧力：0.6MPa ・計測方式：電極電位法・計測範囲：PH0～10 （条件により、0～12まで可能）・精度：±0.05 （但し、弊社の標準校正液による校正時において）・接続：2Sヘルール等（詳細は、ビュルケルトまでお問合せください） Type8201エナメルPH電極は、アンプと組合わせてご使用いただきますが、アンプには下記の２種類があります。・Type8285 壁掛け型アンプ（トランスミッタ）・Type8619 パネル取付型アンプ（トランスミッタ）詳細は、弊社までご連絡ください。こちらのアンプから、信号出力が可能となっております。《用途》・発酵槽・高温薬液・半導体製造ラインなどの薬液pH管理
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電磁弁Type7017（ダイヤフラム分離）

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【工具不要でメンテナンス可能な電磁弁！誰でもかんたんにメンテナンス可能な独自機構を搭載！】電磁弁の可動部（コイル側）とバルブボディ（配管接続部）がビュルケルト独自構造の特殊ダイヤフラムにて分離しており、ゴミや異物が可動鉄芯周りに流れ込むことがありません。またダイヤフラム部の洗浄や交換などのメンテナンスを工具なしで実施することができるので、専門知識のないエンドユーザー自身でメンテナンス対応することが可能です。《製品の特長》 ■ゴミや異物が可動鉄芯周りに流れ込むことがない ■ダイヤフラム部の洗浄や交換などのメンテナンスを工具なしで実施可能 ■専門知識のないエンドユーザー自身でメンテナンス対応可能《仕様》オリフィス：DN 3 ボディ材質：PPS ダイヤフラム：FKM 耐熱：5～80℃ 耐圧：-0.09～0.15MPa 電源電圧：DC24V ポート接続：プッシュインコネクタ (他接続に関してもお気軽にご相談ください) 《用途》 ■コーヒーマシン ■ビールサーバー ■カップ式ベンディングマシン ■その他
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Type6213EV 2方パイロット式電磁弁

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【高い汎用性＆長年ご愛用頂いておりますパイロット電磁弁です】 Type5281と並び、高い汎用性＆長年ご愛用頂いておりますビュルケルトの汎用（液体用）パイロット式電磁弁です。最もお求めやすい機種となっております。《仕様》 ○オリフィス： 10 ～ 40mm ○接続　　　： Rc ネジ接続など ○本体材質：ブラス(黄銅)、ステンレス ○シート材質： NBR など ○流体圧力： 0 ～ 1.0MPa ○流体温度： -10 ～ 80℃ ○電圧： DC24V、AC24V、AC230V など
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2方パイロット式電磁弁 Type5282

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【ゴミ噛みに強い、液体および気体に使用できるパイロット式電磁弁-Type5282-のご紹介！】弊社の得意とするフリッパー機構をパイロット電磁弁に採用することで、ゴミ噛みに強いパイロット式電磁弁を実現いたしました。 ●液体・気体のいずれでもご使用可能です。 ●排水や冷却水等、配管内流体に異物が混入しやすい個所で実績があります。 ●ATEX認証取得モデルも取り揃えております（2015年9月現在） ATEX認証： PTB03 ATEX 1030X II 2G IEC Ex PTB05.0026X 《仕様》 ○オリフィス： 13 ～ 50mm ○接続　　　： Rc ネジ接続など ○本体材質：ステンレスまたはブラス(黄銅) ○シート材質： NBR、FKM、EPDM など ○流体圧力： 0.05 ～ 1.0MPa ○流体温度： -10 ～ 80℃ （材質により異なる） ○電圧： DC24V、AC100V、AC200V など ○ATEX認証モデルも一部取り揃えております：PTB03 ATEX 1030X II 2G, IEC Ex PTB05.0026X
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Type2610 極低温/高温流体対応の2方直動電磁弁

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【極低温から高温の過酷な流体条件に対応する直動式電磁弁登場！】 -200℃の極低温から+180℃の高温までご使用頂ける直動式電磁弁をご準備いたしました。気体/液体の両方にご使用頂ける電磁弁です。《仕様》 ○作動形式： 2 方弁　常時閉（NC） ○オリフィス： 6.0 mm 、 8.0mm、12.0 mm ○接続　　　： G ねじ接続、NPT ねじ接続 ○本体材質：ステンレス ○シート材質： PTFE ○流体圧力：最高1.0MPa ○流体温度：最低－ 200 度、最高180 度 ○電圧： DC24V、AC24V
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極低温/高温流体対応の2方直動電磁弁

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【独自の耐熱構造により、プロセス温度-200度から＋180度までに対応する直動式電磁弁！】 The direct-acting valve Type 2610 is delivered with circuit function normally closed. The thermal isolation of the coil and housing by means of stainless steel bellows allows the extreme medium temperature. 【製品の特徴】 ○ミディアムセパレーション ○ステンレス製の金属ベローズシステム ○高品質のPTFEシートシール《仕様》 ○Metal bellows　Stainless steel 1.4541 ○Seal material　PTFE ○Medium　Neutral gases and liquids ○Medium temperature　-200 to +180 °C ○Ambient temperature　Max. +50 °C ○Viscosity　Approx 21 mm2/s ○Operating voltages　24/110 VUC 　　　　　　　　　　　220-230 VUC ○Voltage tolerance　Max. ±10% ○Cycling rate　10/min
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ATEX認証取得パイロット式電磁弁

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【ATEX認証取得済み、ゴミ噛みに強い、パイロット式電磁弁のご紹介！】 ATEX認証取得済みのパイロット式電磁弁です。弊社の得意とするフリッパー機構をパイロット電磁弁に採用することで、ゴミ噛みにも強く、液体・気体のいずれにも使用可能です。 ●液体・気体のいずれでもご使用可能です。 ●排水や冷却水等、配管内流体に異物が混入しやすい個所で実績があります。 ATEX認証： PTB03 ATEX 1030X II 2G IEC Ex PTB05.0026X 《仕様》 ○オリフィス： 13 ～ 50mm ○接続　　　： Rc ネジ接続など ○本体材質：ステンレスまたはブラス(黄銅) ○シート材質： NBR、FKM、EPDM など ○流体圧力： 0.05 ～ 1.0MPa ○流体温度： -10 ～ 80℃ （材質により異なる） ○電圧： DC24V、AC100V、AC200V など ○ATEX認証モデルも一部取り揃えております：PTB03 ATEX 1030X II 2G, IEC Ex PTB05.0026X
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Type8719 LFC(液体用流量コントローラ)

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【ビュルケルトのLFC（リキッドフローコントローラ）は、15～600ml/minの液体流量を計測・コントロールします】ビュルケルトのリキッドフローコントローラ（LFC）は、独自設計による高性能比例電磁弁と長年の経験から導き出された流体制御技術を組み合わせることで次のような特徴を実現しております。 ■高速応答、高速安定（最短500ms）のハイレスポンス ■高レンジアビリティの比例電磁弁を採用することで、幅広い流量、幅広い差圧を1台で制御可能 ■内蔵している比例電磁弁はタイトシャット可能 ■Type8719は15mL/min～600mL/min（normal、水）の範囲に対応 ■アナログ通信（4-20ma、0-5V）に加えCANopen、DeviceNetにも対応《仕様》・流量範囲　　スパン 1:10 　最小：0.9[L/hr]（15[cc/min]）　最大：36[L/hr]（600[cc/min]）・流体：腐食性が無く、低粘度な流体　（水、アルコール、低粘度の油など）・流体圧力　　最大0.2[MPa] 　最大1.0[MPa] までの特注製品も製作可能です。・流体粘度　　0.4〜4 cSt ・流体温度　　10〜40℃ ・周囲環境温度　　0〜55℃ ・精度　　±1.5% o.R. ±0.5% F.S. ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス　　　　カバー　：樹脂　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可　（DeviceNet, Profibus オプション可）・保護等級　IP 65　取得機種有り
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パドル式流量計

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ビュルケルトのパドル式流量計の解説ですビュルケルトのパドル式流量計は、信号出力部（トランスミッタ）と配管部（フィッテング）の組合せの製品です。パドルとは、羽根車のことです。配管部（フィッテング）内部にパドル（羽根車）があり、流量に応じてこのパドル（羽根車）が回転します。この回転数を計測することで、流量を計測しているのが、パドル式流量計です。例えば落雷などで信号出力部だけが故障したときには、信号出力部だけを交換できるため費用が抑えられる、というお客様にとってのメリットがあります。《用途》・食品業界・飲料業界・化学業界・半導体業界・洗浄機器その他、多数の業界にてお使いいただいております。
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Type8031 小型パドル式流量計

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【樹脂ボディのコンパクト＆お求めやすいパドルホイール式流量計です。腐食性流体や小流量計測に最適！】本体材質にPOM(or ECTFE)を採用したパドルホイール式流量計です。腐食性流体や小流量計測に最適です。 ○精度：約2% (FS) ○流体圧力：最高1.0MPa ○流体温度： 0 ～ 80℃ 《仕様》 ○電圧： DC24V ○表示：無し ○信号出力：パルス信号 ○シート材質： FKM またはEPDM ○本体材質： POM またはECTFE ○流体圧力：最高1.0MPa ○流体温度： 0 ～ 80℃
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Type8045 インサーションタイプの電磁式流量計

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【弊社が得意とするインサーションタイプの電磁式流量計！インサーションタイプにより導入、設置が極めて容易かつ製品重量も軽量です！】容易に導入が可能な電磁式流量のご紹介です。弊社が得意とするインサーションタイプを採用することで、配管口径が大きい場合でも、配管部に専用フィッティングを取付けるだけで簡単に導入が可能！軽量な製品なため、サポート設置等も不要です。本製品に内蔵される自動合わせこみ機能（Teach-In機能）を使うことで、インサーションタイプでありながら、約0.5%（読値）誤差を実現！ ●可動部が無い流量計測原理（電磁式流量計） ●瞬時流量と積算流量のどちらも表示可能 ●実際の流量が流れなくても、相当する仮想信号の出力が可能（試運転時などにお使いいただけます） ●CIP流量計測に最適 ●Alloy C22製電極もラインナップ（海水等の腐食性の高い流体向け） ●フィッティング材質：SUS製、PVC製 ●接続タイプ：Rcネジ、ヘルール、フランジ、TSソケット、溶接タブ《仕様》 ○流量計測範囲： 0.3 ～ 75000 L/min 　　　　　　　　（口径により異なります。） ○電圧： DC24V ○表示：液晶画面　流量４ケタ表示　　　　（表示単位は設定可能） ○信号出力： 4 ～ 20mA、校正パルス信号 ○シート材質： FKM （EPDM に交換可能） ○電極材質：ステンレス(SUS316L 相当） ○流体圧力：最高1.6MPa 　　　　　　（接続形式により異なる場合があります。） ○流体温度： 0 ～ 110℃ （ステンレス製フィンガー） ○必要導電率： 20 μ S/cm 以上〇精度：Teach-In機能実施時において約0.5%（読値）
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Type8081 超音波式流量計

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【圧力損失が少なく、流体に異物が混入していても影響を受けにくい流量計です！】超音波を利用した流量計です。流体に異物が混入していても影響を受けにくいという特徴があります。また計測レンジが非常に幅広く、圧力損失が少ないのも特徴です。＜計測流量範囲＞ 0.06 ～ 20[L/min] 0.1 ～ 50[L/min] 0.16 ～ 82[L/min] 0.6　～ 116[L/min] 1.0 ～ 200[L/min] 《仕様》 ○口径： DN15 ～ 25 ○接続： G ネジ、NPT ネジ ○電圧： DC12 ～ 36V ○表示：無し ○信号出力： 4 ～ 20mA、パルス信号 ○シート材質： EPDM ○内面材質：ブラス( 黄銅)/ PES ○流体圧力：最高１.6MPa ○流体温度： 5 ～ 90℃
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バッチコントローラ

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【バッチ制御（定量制御）を自動化しませんか？】ビュルケルトのバッチコントローラは、流量計とバルブだけで、特別な電気の知識がなくても、簡単に自動化できる製品です。バッチ制御（定量制御）とは、例えば「100リットル」とバッチ量（定量）定めて、その量だけ投入するという制御方式です。例えば、・セメントに「500L」の水を投入したい。・パンの製造量で小麦粉に「30L」の水を加えよう。・アルコールを10倍に希釈するために、　まずアルコールを「10L」タンクに入れ、　その後に水を「90L」タンクに入れよう。などのご用途でお使いいただけます。こちらは、組合せ商品となります。 ■バッチ制御機能付き流量計　　- パドル式流量計（低精度・廉価）　　- 容積式流量計（高精度） ■バルブ　　- 空圧弁　　- 樹脂性バルブ（薬液用）　　- 電磁弁組合せは多数ございますので、お客様のご用途に応じて弊社で推奨させていただきます。まずは、お気軽にご連絡ください。《用途》・食品業界・飲料業界・化学業界・半導体業界・洗浄機器その他、多数の業界にてお使いいただいております。
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液体用フローコントローラ最大600ml/minの腐食性流体対応

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【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】ビュルケルトの液体用フローコントローラは、「次機種ではもっと流量を出したい」「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」などのご要望に対応可能。過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られたビュルケルト独自の液体フローコントローラです。弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能ありデジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応
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コリオリMFC(液体マスフローコントローラ)

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【ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。《製品の特長》 ■流量測定最大25 kg/h（水） ■非常に高い精度と範囲 ■高い長期安定性、ゼロ点調整不要 ■耐性の高い媒体接触素材 ■多種多様な液体に使用可能《仕様》・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種　　　　※スラリーは不可・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス　　　　カバー　：樹脂　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可）《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬・純水の流調・薬液供給・薬剤充填など
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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

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【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。圧力レンジ以外にもビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ　→　1:100の高精度 ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種など
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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

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【設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)】産業用マスフローコントローラはビュルケルト！半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。応答速度以外にもビュルケルトの産業用マスフローは ●高圧対応　→　～1.0 MPa ●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種など
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低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

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【小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対応！低コスト化も実現可能なドイツ発IoT時代のMFC】 Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！《製品の特長》 1台で何役もこなします！ ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧でもスムーズな制御を実現 ●1.0 MPa(10bar)の高差圧でもスムーズな制御 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 ●高速で指示値（セットポイント）に追従し安定（0.3～0.5秒以内） ●最新機種では最大流量2500L/minクラスも！簡単導入＆直ぐにご使用可能です！ ●校正済みで出荷されるため、設定不要＆調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入ビュルケルトならでは＆IoT世代 ●アナログ入出力信号だけではなく、OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式にも柔軟に対応 ●保護等級IP65取得機種も準備 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！《用途》 ■水素ステーション関連 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御 ■プラズマ制御などなど．．．
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CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

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【従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！】《製品の特長》 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能 ◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に　応じて最適なご提案を致します。 ◆CANopen対応 ◆保護等級IP65 《用途》 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御
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大気圧プラズマ向マスフローコントローラ（MFC）

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【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。＊保護等級　IP 65　取得機種有り対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。注：アンモニア仕様は特注できます。ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り）《用途》大気圧非平衡プラズマの流体制御プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。
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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー（MFC）

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【装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)】大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。ビュルケルトの産業用マスフローは ●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応また ●低差圧仕様　→　5KPaから対応 ●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度　　　　　　→　300msec～ ●暖機運転　　　　　　→　1min さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応《製品の特長》弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種など
解決できる課題
- 品質向上
- 省スペース
- 生産効率改善
- 共通ツール
- 流量計、フローメータ
ビュルケルトジャパン株式会社

コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

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【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。《仕様》・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種　　　　※スラリーは不可・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス　　　　カバー　：樹脂　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可）《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬・純水の流調・薬液供給・電解液充填など
解決できる課題
- 品質向上
- 省スペース
- 生産効率改善
- 共通ツール
- 流量計、フローメータ
ビュルケルトジャパン株式会社

液体用フローコントローラ　最大600ml/minの腐食性流体対応

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【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】ビュルケルトの液体用フローコントローラは、「次機種ではもっと流量を出したい」「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」などのご要望に対応可能。過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られたビュルケルト独自の液体フローコントローラです。弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能ありデジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応《用途》 ■エレクトロニクス業界向け蒸着関連装置 ■各種工業炉・燃焼炉 ■食品/製薬産業向け充填機など
解決できる課題
- 品質向上
- 省スペース
- 生産効率改善